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3.3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 通过之前的研究结果可以知道，在同一个转速对不同的金刚石粉颗粒的

3.2 不同转盘转速对磨抛速率的影响 选用粒度为200/230 和140/170 的金刚石粉在平盘上分别以3

3. 结果与讨论 3.1 不同研磨盘对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响 选用粒度为100/120 的金刚石粉分别

4. 结 论 长期以来本实验室在进行金刚石自支撑膜后续加工的领域里碰到的难题是磨削速率太 低，安全性也低，容

2. 试 验 金刚石自支撑膜是由本实验室的100KW 级高功率直流电弧等离子体溅射化学气相沉积系统制备而成，

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