【概述】
一套完整的光纤对准解决方案是对准器械、控制电子产品、软件和系统的集成。MKS能够提供其中所需的任何组件、软件和专业知识。
运动控制 光分析 光学元件 光学平台 其他
典型光纤对准系统要求
研发 | 有限自动化 | 小批量 | 大批量 | |
对准精度和 zui小位移增量 | 1 微米 | 200 纳米 | 100纳米 | 50至100纳米 |
速度/生产周期 | 几分钟 (通常取决于用户) | 几秒或几分钟 (通常取决于用户) | 几秒钟 | 几秒钟 |
重复精度 | 不太关键 (通常取决于用户) | 几百纳米 | 几百纳米 | <100 纳米 |
MTBF/可靠性 | 不太关键 | 几千小时 | 几千小时 | >10,000小时 |
电动和手动位移台
电动位移台
电动位移台, 由电磁电机驱动,常用于生产环境,以实现对准流程的自动化。它们通常具有亚微米级 MIM 和重复定位精度,能够极大地提高使用这些平移台组装的电信设备的质量和性能。在 MKS,我们保证所发布产品的性能指标。所有平移台都会经过出厂测试,符合或优于保证指标,典型指标优于保证值约2 倍。
l XM 系列:严苛的制造和测试、测量应用的Zzhong解决方案。
l MLT 系列:经济款紧凑型高性能解决方案。
l VP 系列:专为光纤对准而设计的模块化紧凑型系统。
l VP-Z 垂直平移台:可从任何一侧轻松接触负载(VP XYZ 堆叠的薄型替代品)。
行程范围 | 50-350 mm | 25-250 mm | 25 mm | 4.8 mm |
zui小位移增量 | 1 nm | 5 nm | 10或100 nm | 60 nm |
定位精度 | ±0.2至±0.5 µm | ±0.3至±3 µm | ±0.4至±0.5 µm | ±0.6 µm |
重复定位精度 | ±0.03至±0.035 µm | ±0.15 µm | ±0.05至±0.06 µm | ±0.1 µm |
zui大速度 | 300 mm/s | 500 mm/s | 25 mm/s | 5 mm/s |
其他特性 | 无铁芯直线电机 | 高扭矩直线电机 | 小巧、紧凑、轻便 | 无障碍接触运动平台 |
用途 | ✓ 大批量 | ✓ 小批量 | ✓ 研发 | ✓ 研发 |
六足位移台是一种并联运动机械装置,使用六个共同并行移动的促动器,能够在笛卡尔坐标系中提供六轴运动范围。所有轴的移动相互依赖,意味着一个轴的运动会降低其他轴的行程。六足位移台能够实现线性和角度运动的复杂组合,对关键的旋转调整特别有用。
l HXP 六足位移台: 需要六个自由度时的解决方案。
HXP50 六足位移台 | X | Y | Z | ΘX | ΘY | ΘZ | |
行程范围 | ±17 mm | ±15 mm | ±17 mm | ±9° | ±8.5° | ±18° |
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Z小位移增量 | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.05 µm | 0.05 mdeg | 0.05 mdeg | 0.1 mdeg | |
重复定位精度 | ±0.6 µm | ±0.6 µm | ±0.3 µm | ±0.3 mdeg | ±0.3 mdeg | ±0.6 mdeg | |
Z大速度 | 14 mm/s | 12 mm/s | 5 mm/s | 6°/s | 6°/s | 15°/s | |
其他特性 | 50N 载重能力,无移动电缆 | ||||||
用途 | ✓ 大批量 |
压电位移台
压电多轴对准器 是紧凑的四轴到六轴对准系统,由压电促动器驱动。这类促动器具有 30 nm 线性分辨率,非常适合研发应用中对准定位的远程控制。这些多轴电动位移台可以进行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同组合的高分辨率 (< 30 nm) 调整。这些多轴电动位移台可以进行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同组合的高分辨率 (< 30 nm) 调整。
手动位移台
在机械结构方面,手动位移台是能够提供精确线性或旋转运动的简单、成本zui低的运动控制系统。它们Z常用于学术研究或工业研发中心,小批量生产环境中偶尔也会使用。推荐的 ULTRAlign™ 系列还可以通过添加NSA12或TRA电动促动器来实现电动运行。
l ULTRAlign™ 光纤对准位移台: 提供精确、稳定和可靠的光纤对准。
l 466A 系列 光纤对准位移台:提供精确、稳定和可靠的光纤对准。
ULTRAlign™ 线性平移 | ULTRAlign™ 倾斜和旋转 | ||||||
X | Y | Z | ΘX | ΘY | ΘZ | ||
行程范围 | 0, 6或 13 mm | 13 mm | 6或13 mm | ±10° | ±5°或 +2°/-1.5° | ±5°或 +10°/-7° |
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其他特性 | 不锈钢 | ||||||
用途 | ✓ 研发 |
466A 平移台 | X | Y | Y | |
行程范围 | 2 mm | 2 mm | 2 mm |
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其他特性 | 挠性定位机制 | |||
用途 | ✓ 研发 |
光功率计和探测器
光学探测器用于测量光束的功率。与功率计搭配使用时,它们能够监控光信号并探测zui高发射功率。
光纤探测器
818 系列:光电二极管探测器,采用具有zui低不确定性的可互换光纤适配器。
818 系列 | InGaAs | Si | |
光谱范围 | 800-1650 nm | 400-1100 nm |
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传感器尺寸 | Ø3 mm | Ø11.3 mm | |
Z小可测量功率 | 20 pW | ||
Z大可测量功率 | 10 mW | 5 mW | |
上升时间 | ≤2 µs | ||
校准不确定性 | ±1% 至 ±4% (无衰减器) | ||
其他特性 | 可互换光纤适配器 | ||
用途 | ✓ 研发 |
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