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低TOC浓度分析的加压集成在线取样器(PIOS)

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Sievers* M9e总有机碳(TOC)分析仪的“加压集成在线取样器(PiOS,Pressurized Integrated On-Line Sampler)”配件专用于加强微电子应用中的超纯水(UPW)系统的有机物监测能力。在微电子应用中(TOC通常小于5 ppb),监测水质的微小变化至关重要,能够确保Z 终产品质量和优化处理工艺。

当要监测的浓度很低时,总碳(TC)和无机碳(IC)的值非常接近,因此TOC测量值(TOC = TC - IC)会受信噪等干扰因素的影响。周围环境中的微气泡就是这种干扰源之一,会导致意外的TOC峰值。PiOS能给分析仪中的样品加压3 - 5 psig,抑 制气泡的形成,确保分析仪在低浓度下进行准确的分析。


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