上海交通大学磁控溅射式原子层沉积系统招标公告

　　项目编号：0773-2241SHHW0017/校内编号：招设2022A00003

　　项目名称：上海交通大学磁控溅射式原子层沉积系统

　　一、采购需求：

　　磁控溅射式原子层沉积系统，1套，预算300万元。

　　技术参数： 圆柱体304 S/S不锈钢超高真空圆柱形主反应腔室，主腔室尺寸≤400 mm高×360 mm直径，底部采用金属密封，极限真空压强≤5×10E-8 Torr;工艺腔体内样品台可在氧气环境下加热，最高加热温度在850 ℃以上，PID温控精度≤±1 ℃;镀膜均匀性：直径100 mm硅片镀制SiO2或TiN薄膜，薄膜不均匀性≤±2.5%(去掉5 mm边缘)，均匀性计算公式：±均匀性=((最大–最小)/(2×平均))×100%。薄膜重复性：同样镀膜工艺重复率偏差≤±2.5% 。

　　合同履行期限：签订合同并收到信用证后7个月内。

　　本项目( 不接受 )联合体投标。

　　二、申请人的资格要求：

　　1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

　　2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

　　本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》执行。

　　3.本项目的特定资格要求：1)投标人为制造商须提供制造商资格声明函(见格式 IV-9-2);投标人为代理商时，须提供资格声明函(见格式 IV-9-3)及制造商提供的针对本项目的授权书(见格式 IV-9-4);2)投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件;3)投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台(以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com)上完成有效注册;4)不接受联合体投标。

　　三、获取招标文件

　　时间：2022年03月04日 至 2022年03月11日，每天上午9:30至11:30，下午13:30至16:30。(北京时间，法定节假日除外)

　　地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室

　　方式：(1)投标人报名时须先登录“上海交通大学数字化采购平台(https://pboffice.sjtu.edu.cn/)” 供应商注册进行网上注册。(2)注册转账之后，请潜在投标人明确投标项目名称、项目编号、投标人名称、汇款底单，发至zjzbsh@163.com邮箱。

　　售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

　　标书费、投标保证金、中标服务费专用账户：

　　招标代理机构开户银行(人民币): 中国建设银行上海斜桥支行

　　招标代理机构开户银行(美元): 中国建设银行上海黄浦支行

　　账号(人民币): 31001514800050010790

　　账号(美元): 31001514800050010790

　　其他: 户名：中金招标有限责任公司上海分公司

　　四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

　　提交投标文件截止时间：2022年03月25日 09点30分(北京时间);

　　开标时间：2022年03月25日 09点30分(北京时间);

　　地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室。

　　五、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

　　1.采购人信息

　　名 称：上海交通大学

　　地址：上海市闵行区东川路800号

　　联系方式：招采办经办人：王老师/86-21-54744366;技术负责人：袁老师/86-21-68693118

　　2.采购代理机构信息

　　名 称：中金招标有限责任公司

　　地 址：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室

　　联系方式：朱杨峰、宋晓飞/86-21-66059798-108

　　3.项目联系方式

　　项目联系人：朱杨峰、宋晓飞

　　电　话：86-21-66059798-108