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请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?

亡魂之唤伟 2012-05-31 01:37:06 320  浏览
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全部评论(1条)

  • plhhhhhhhhhhh 2012-06-01 00:00:00
    你的问题太泛泛了,真空镀膜机一般包括几个部分: 1. 真空室 2. 抽气系统(各种泵) 3.真空测量系统(真空计) 4.镀膜系统(各种蒸发源及电源) 5.电器控制系统及软件控制系统 6.压缩空气和冷却水及工艺气体分配系统。

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请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?
 
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