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  bijio044 2017-01-12 00:00:00

  并联好，稳定！

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  koy小星 2017-01-12 00:00:00

  答案：双泵串联好！ 泵的主要目的是抽真空，泵串联是为了增加抽真空能力 常见的真空泵有以下几类，油机械泵、罗茨泵、扩散泵、钛吸附泵、涡轮分子泵。泵串联一般是为了增加腔体的真空程度。工业上为了得到超高真空，一般是串联真空泵。常见的真空串联方式是，真空腔体先接涡轮分子泵，再接扩散泵、再接油机械泵（原因比较复杂）。 泵串联起来后使用有一定的讲究，开机时先开油机械泵、再开扩散泵、再接涡轮分子泵；关机时先关分子泵、再关扩散泵、Z后关机械泵。如不按循序关，会导致扩散泵的油回流，涡轮分子泵的叶片断裂。

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