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- fsq9264543 2013-06-05 00:00:00
- 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率 在现代科学技术中,薄膜有着广泛的应用。因此测量薄膜的技术也有了很大的发展,椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的Z精确的方法之一。椭偏法测量具有如下特点: 能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级。 是一种无损测量,不必特别制备样品,也不损坏样品,比其它精密方法:如称重法、定量化学分析法简便。 可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。 对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法 椭偏仪的光路图 椭偏仪的基本原理 入射光的P分量 入射光的S分量 反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量 r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1, n2, n3,f1,d,l)
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在薄膜制造及加工业,检测薄膜的厚度是较常见的薄膜检测指标之一,厚度检测又多分为薄膜厚度检测以及涂层厚度检测两类。由于薄膜的厚度是各层树脂厚度的总和,如果薄膜的整体厚度均匀性差,其中各层树脂的厚度分布也会存在差异。毫无疑问,对涂层厚度的检测将更有利于有效控制薄膜各层的厚度均匀性,但对于多层薄膜若想较好测量每一涂层的厚度,在相应的厚度检测设备上就需要有非常大的投资,并随着薄膜层数的增长而加大,给企业带来较大的经济负担。比较经济的方式是对部分价格昂贵的涂层材料进行涂层厚度的检测,同时加强对薄膜整体厚度的测试以达到有效控制其他各层材料厚度均匀性的作用。
包装材料厚度是否均匀,是检测其各项性能指标的基础。包装厚度不均,会影响到其阻隔性、拉伸强度等性能;此外,对材料厚度实施高精度控制也是确保产品质量与控制生产成本的重要手段。测厚仪又可称为厚度仪、薄膜厚度测试仪、薄膜测厚仪、纸张厚度测定仪、台式测厚仪等等。济南赛成仪器生产的测厚仪系列产品,采用机械接触式测量方式,专业适用于量程范围内的塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度较好测量。
1、测试方法:
(1)裁剪3张一定尺寸的PE塑料薄膜式样。
(2)打开仪器,设置参数,放置量块,点击“确认”。
(3)取走滑块,重新设置与步骤(1)相同的参数,放入事先裁好的PE薄膜试样1。
(4)每张试样分别取10个不同的点,位置尽量错开,避免因距离太近影响数据。
(5)PE膜试样1和2测试完后,再接着测试PE薄膜3,测前去除客户用来保护覆盖的前后两张薄膜。
(6)所有试样测试完毕,对数据进行统一汇总整理。
2、测试仪器:
CHY-CA测厚仪采用机械接触式测量方式,严格符合标准要求,有效保证了测试的规范性和准确性。专业适用于量程范围内的塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度较好测量。
2.1、测试标准
该仪器符合多项国家和国际标准:GB/T 6672、GB/T 451.3、GB/T 6547、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、BS 3983、BS 4817
2.2、技术指标
测试范围:0 ~ 2 mm(常规)
0 ~ 6 mm;12 mm(可选)
分辨率:0.1 μm
测量压力:17.5±1 kPa(薄膜);50±1 kPa(纸张)
接触面积:50 mm2(薄膜);200 mm2(纸张)
注:薄膜、纸张任选一种;非标可定制
进样步距:0 ~ 1000 mm
进样速度:0.1 ~ 99.9 mm/s
电源:AC 220 V 50 Hz
外形尺寸:461 mm (L) × 334 mm (W) × 357 mm (H)
净 重:25 kg
济南赛成仪器一直致力于为大部分国家客户提供高性价比的整体解决方案,公司的核心宗旨就是持续创新,打造高精尖检测仪器,满足行业内不同客户的品控需求,期待与行业内的企事业单位增进交流和合作。
赛成仪器,赛出品质,成就未来!
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会议概况
2019年5月22日,为了促进测量技术行业的需求,优尼康科技和清华大学电子工程系联合举办的薄膜厚度和表面测量先进技术研讨会,于清华大学罗姆楼如期举行。首次置办,一举取得圆满成功。
专家精彩的报告
该次邀请了清华大学,北京大学,北京理工大学的专家作为演讲嘉宾,分别与我们分享了On-line 膜厚监控在超精密切削加工中的应用、可集成自由电子辐射器件的研究、The Research Progresses in 21’ Wafers HVPE System and GaN Single-crystal Substrates。另外还邀请了lingxian的设备供应商KLA-Tencor公司的几位博士为我们带来精彩的分享演讲。分享的主题分别为:KLA Profiler products introduction and its applications、Advances in Spectral Reflectance Measurement and Cloud-Based 3D Analysis、Nano Indenter G200 and its applications、ZETA Multi-mode optical profiler introduction and applications。
研讨&展示相得益彰
该研讨会,除了聆听专家分享演讲外,受邀参会的高校、科研院所、高科技企业的人员还可以在现场观摩我司的产品、技术应用深入交流、现场测样。其中不乏一些用户就现场对产品表示的浓烈兴趣。参加人员表示,此次活动受益匪浅。
现场精彩时刻
(来源:优尼康科技有限公司)
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