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一、电子源：

       也称电子枪，产生连续不断的稳定的电子流。普通扫描电镜的电子枪由阴极（灯丝）、栅极和阳极组成。阴极采用能加热的钨丝，栅极围在阴极周围。被加热了的钨丝释放出电子，并在阳极和阴极之间施加高压，形成加速电场，从而使电子得到能量——高速飞向（在高真空镜筒中）样品。而场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同，阴极呈杆状，在它的一端有个极锋利的尖点（直径小于100nm）,尖 端的电场极强，电子直接依靠“隧道”穿过势垒离开阴极，由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说，扫描电镜加速电压通常为1——30kV。

二、电子透镜：

       将从电子枪发射出来的电子会聚成直径最小为1——5nm电子束。

三、扫描系统：

       使电子束作光栅扫描运动。

一、场发射扫描电镜分辨率高

       在场发射扫描电镜中，人们最感兴趣的信号是二次电子和背散射电子，这两种信号的发射强度随着样品表面的形貌和化学成分而变化。二次电子产区限于入射电子束射人样品的附近区域，从而获得相当高的形貌分辨率，场发射扫描电镜（FESEM)的图像分辨率已经优于1nm，为纳米和亚微米尺度的研究提供了极大的便利。这类电镜属于场发射扫描电镜的高端产品。

二、场发射扫描电镜放大倍率宽

放大倍率与分辨率密切相关，为了获得高分辨率图像，必须使用高放大倍率。光镜放大倍率有限，最 高到1500倍，透射电镜放大倍率可以高达100万倍、扫描电镜放大倍率范围可以从几倍至几十万倍，三种显微镜的放大倍率成为一个系列。在扫描电镜中，利用低倍观察样品的全貌，利用高倍研究样品的微观细节。操作时放大倍率连续可调，使用非常方便。低倍图像有光镜图像的特点，扫描电镜图像比较直观，容易解释。高倍图像可以与相应的透射电镜图像相比对。

三、场发射扫描电镜三维立体效果好

光镜和透射电镜图像景深小，只能观察样品某个平面，在深度方向上是模糊的。扫描电镜图像景深大，有的电镜在电子光学系统上经过特殊设计，可以提供几十毫米的景深范围，即一张场发射扫描电镜像不仅在X，Y两个方向上的细节清晰，而且在图像深度方向也很清楚。一幅两维图像，可以提供三维信息，使人们获得更多的微观信息量，适用于表面粗糙样品的观察，例如：金属材料断口、颗粒样品的三维形态分析。利用扫描电镜样品台的同轴心倾斜，可以获得样品的立体图像对(Stereo pairs)，经合成后，变成立体图像，使用图像分析软件可以准确测量深度方向的数据，这是扫描电镜独特的性能。