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  yujia882 2010-01-28 00:00:00

  1主要包括水、电、气.主要有冷却系统、溅射系统、测量系统、传动系统、抽空系统、工艺气体等等. 2接好水电气.人为报警测试、过载、互锁、保护、过温、加热、停转、绝缘、.... 3抽真空测抽速，检漏；测极限，保压啊. 4实验打样OK，投入生产.

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  tC恺镘 2010-02-02 00:00:00

  概括说。空载试验和负载试验。 空载试验包括极限真空度、抽速、漏率、水电气测试、保护、泵的性能。 负载试验包括工艺及产品检测。

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  plhhhhhhhhhhh 2016-08-15 17:37:34

  1、测试设备的抽真空速度，在测试过程中检查漏气情况与各真空泵的性能； 2、测试设备的密封性能，就是抽到极限后保压1小时看压降是否达标，同时排除细小的漏孔； 3、产品试作，检验其他的性能，比如传动、加热、绝缘等等； 4、如果有工艺保证的话就继续打样并作测试。 5、所有的测试应作记录，并有记录人签字以及有使用部门或工程部门的人确认签字。

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