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目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已无法满足清洁无油、耐腐蚀、耐可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要，因此近几年来干式真空泵发展很快，真空获得产品出现了更新换代的局面。

干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

干式真空泵的优点：

成本低：不耗油，无滴漏

稳定性：干式真空泵的性能稳定，噪音低，故障率低，因此减少维修成本。

适应力强：工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况

应用广泛

干式机械真空泵的应用范围：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，日本坚山KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。

上海尔迪仪器科技有限公司代理KASHIYAMA真空泵，更多详细资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司。

上海尔迪仪器科技有限公司是一家从事仪器设备销售、技术服务与工艺开发的创新公司，为您提供一站式采购服务。

大家在使用真空泵的过程中可能会对很多专业术语不了解，从而影响使用。因此，上海尔迪仪器科技有限公司今天带大家解说常用的相关术语。

1. 无油干式真空泵：是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

2. 无油干式真空泵与油泵的区别：无油真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积小巧，易于安装，维护简单，移动方便，不产生油烟，不污染环境，尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室最常备的设备之一。

3.抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率

4.抽真空：是制冷设备生产或维修过程中，充注制冷剂前的一个必不可少的重要工序。即用真空泵与制冷系统管路相连接（一般是高低压侧同时连接），将系统管路中的不凝性气体和水分等排除的过程。

5. 不凝性气体：不凝性气体是指混在制冷系统里的空气、氢、氮、润滑油蒸气等。这些气体随制冷剂在系统中循环，不随制冷剂一起冷凝，也不产生制冷效应。

6. 真空蒸馏：在减压下进行。一般用以分离在常压下加热至沸时易于分解或聚合的物质或与其他蒸馏方法(如蒸汽蒸馏)结合以降低蒸馏的温度。

7. 前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。

8. KASHIYAMA： KASHIYAMA于1946年创建,KASHIYAMA致力于真空技术的研究,其真空设备已被广泛应用于包括半导体制造业和液晶显示制造业的高科技领域中。

9. 真空度：指处于真空状态下的气体稀薄程度。若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称真空度。

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。

它家的干式真空泵系列产品有：NeoDry30E、NeoDry7E、NeoDry15E、NeoDry36E、NeoDry300E、NeoDry100E。面对未来日趋多元化的市场需求，KASHIYAMA工业将继续秉承为客户开发创造的精神，不断创新。 

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上海尔迪仪器科技有限公司是一家从事仪器设备销售、技术服务与工艺开发的创新公司，为您提供一站式采购服务。

日本坚山KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。

公司自1946年创建以来，一直秉承客户至上的信念，持续不断努力开发，拓展业务，以适应时代需求。尤其在真空泵领域，坚持不懈地研究创新，制造出了极其先进的高科技产品。公司生产的真空设备已被广泛应用于包括半导体制造业和液晶显示制造业的高科技领域中。

面对未来日趋多元化的市场需求，KASHIYAMA工业将继续秉承为客户开发创造的精神，不断创新。

干式真空泵系列产品：NeoDry30E、NeoDry7E、NeoDry15E、NeoDry36E、NeoDry300E、NeoDry100E

NeoDry系列产品优点：

1、 设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、 低噪音，低振动，变频马达，不影响性能抽气性能

3、 采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、 若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。 

无油真空泵是一种无需任何油作润滑就能运转工作的机械真空泵，耐用性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。

无油真空泵工作原理一种是通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。

另一种是依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。

三是低温泵，在接近绝 对零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。

无油真空泵优点很多，主要有。

1. 结构简单、操作容易

无油真空泵的结构简单而且体积小巧，易于安装，移动起来也方便，尤其在要求较高的实验室使用更显优势。

2.维护简单

无油真空泵和需要油润滑的真空泵想必，经常性的维护和保养可以大大减少，不必为缺少真空油而烦恼，也因此减少维修带来的 不便。

3.清洁无污染

无油真空泵在运行过程中不产生油烟，不会污染环境。 

4.广泛应用

近年来，干式无油真空泵因为节能、环保性能稳定、无需定时保养、持久耐用，给企业提高生产力的同时还节省了一大笔成本费用等多方面的优点，所以要比传统油泵更受企业青睐，也是越来越多的企业选择干式无油真空泵的原因。

面对未来日趋多元化的市场需求，Kashiyama的无油真空泵设计应企业“节能改造”需求而生，其干式真空泵系列在真空技术中更是行业佼佼者！也是备受各个企业的青睐。

推荐设备：kashiyama NeoDry7E 、NeoDry15E、NeoDry30E、NeoDry36E、NeoDry60E、NeoDry100E、NeoDry300E

干式真空泵是指是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

它主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本KASHIYAMA工业的产品在先进的高科技产业上已获得了顾客们的信赖，尤其是干式真空泵系列在真空技术中，大大提高了产品的性能和质量。

KASHIYAMA真空泵系列产品：NeoDry30E、NeoDry7E、NeoDry15E、NeoDry36E、NeoDry300E、NeoDry100E。如需了解更多KASHIYAMA真空泵相关资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司。

 一、干式真空泵原理

它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

       干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。在运行过程中不产生油烟，不会污染环境！

由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点，它是油封式真空泵的更新换代产品。是节能、省本的绿色解决方案！

二、干式真空泵的冷却方式

目前市面上的干泵多用腔体中间夹套冷却水或者泵壁外侧安装冷却水铜排对和腔体转子进行冷却。而有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却，很好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物质分解，及高温易聚合的物质

三、干式真空泵的优点

1. 结构简单、操作容易

无油真空泵的结构简单而且体积小巧，易于安装，移动起来也方便，尤其在要求较高的实验室使用更显优势。

2.维护简单

无油真空泵和需要油润滑的真空泵想必，经常性的维护和保养可以大大减少，不必为缺少真空油而烦恼，也因此减少维修带来的 不便。

3.清洁无污染

无油真空泵在运行过程中不产生油烟，不会污染环境。 

4.广泛应用

1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。

2、印刷机械上的纸张真空吸送。

3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。

4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

5、物体表面在真空状态下的气密性试验。

6、纸箱及瓶类物品的标鉴真空吸送粘贴。

7、真空吸引固定下的照相制版。

8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。

9、各种医药机械自动线上的配套使用。

10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。

11、各种容器在真空状态下的检漏试验。

12、食品加工机械上的应用。

13、中西药厂真空蒸馏干燥。

14、医院手术室的真空吸引。

15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。

无油干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 

在干式无油真空泵没有得到广泛应用之前，真空泵客户使用的，无论是油封泵或者是水环泵。它们都是用油、水等介质作为真空泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。因为购置成本较低，所以是很多企业的选择。

但是近年来，干式无油真空泵因为节能、环保性能稳定、无需定时保养、持久耐用，给企业提高生产力的同时还节省了一大笔成本费用等多方面的优点，所以要比传统油泵更受企业青睐，也是越来越多的企业选择干式无油真空泵的原因。

面对未来日趋多元化的市场需求，Kashiyama的无油真空泵设计应企业“节能改造”需求而生，其干式真空泵系列在真空技术中更是行业佼佼者！也是备受各个企业的青睐。

推荐设备：kashiyama NeoDry7E 、NeoDry15E、NeoDry30E、NeoDry36E、NeoDry60E、NeoDry100E、NeoDry300E

KASHIYAM NeoDry系列产品优点：

1、 设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、 低噪音，低振动，变频马达，不影响性能抽气性能

3、 采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、 若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

（1）采样速度快：激光粒度仪的采样速度达到2800次/秒，可以迅速将通过喷嘴样品产生的散射信号采集到电脑中，避免了信号的丢失和重叠，提高了测试结果的准确性，保证了仪器的分辨力。

（2）加料均匀并且自动调整流量：百特全自动干法进样器采用电磁振动器、锥形布料槽、电子调节器、空气压力自动监测器、文丘里管等多项先进技术，进料稳定均匀，用料少，最少用料仅0.5克。

（3）干法分散充分可靠：百特独特设计的干法分散器，集剪切、颗粒间础撞、颗粒与器壁间碰撞于一体，样品在高压空气带动下经过分散器后，所有的团聚体都被分散开。

（4）防尘设计：喷嘴处始终是负压状态，喷出的样品直接被吸尘器收集，不会污染镜头，保证仪器长时间正常运行。

（5）可以方便地进行干湿法转换：仅仅将干湿法进样系统互换就可以实现干湿法转换，方便快捷。湿法系统除循环系统外，还有微量样品池系统。

在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:

①. 无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空;

②. 抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源;

③. 抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小;大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低;

④. 非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振动小;

⑤. 结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳;

⑥. 体积小，维修方便，维护费用低;

⑦. 采用空气冷却，无需水冷。

无油涡旋真空泵应用在

①. 半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;

②. 科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;

③. 机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;

④. 化学工业;

⑤. 医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;

⑥. 包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

无油涡旋真空泵主要由5个部件组成：

①. 动静涡旋盘付与基座;

②. 曲轴;

③. 密封垫;

④. 防自转机构;

⑤.电机。