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将各类胶液滴注于高速旋转的基片上,滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地涂覆的设备,被叫做匀胶机。溶胶的黏度以及匀胶机的转速对于膜的厚度起到决定性作用。
匀胶机为使用旋转涂覆技术的设备。匀胶机具有非常多种类的称谓。Spin Processor或者Spin Coater为匀胶机的英文名字,又被叫做匀膜机、旋转涂膜仪、旋转涂覆仪、旋转薄膜机、旋转涂布机、旋转涂层机、旋转涂膜机、旋转涂胶机、匀胶台以及甩胶机,总而言之,它们具有相同的原理,也就是将各类胶液滴注于高速旋转的基片上,滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地进行涂覆,胶液和基片间的粘滞系数不一样,厚度也会存在差异,旋转速度及时间也会对厚度产生影响。
匀胶机特点
就原理而言,匀胶机有如下两个特点
1、真空吸附系统
无油泵通常为真空泵所采用,也就是一般所说的干泵,由于真空管道有被任何的油污堵塞的可能性,若真空吸附力降低,会引起基片吸附不住而使得“飞片”产生的情况,还会使得滴的胶液不慎往真空管道系统进入导致完全堵塞。有的匀胶机通过联动机制,如果没有足够的真空吸附力,那么转动就不会开始。如此滴的胶液不慎进入真空管道系统的情况就能够得到有效的避免。
2、旋转速度
旋涂层的厚度控制和膜层均匀性取决于转速的快慢和控制精度,若标示的转速和电机的实际转速具有较大的误差,那么对于要求精密涂覆的科研人员而言,就不能获得准确的实验数据。
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