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将各类胶液滴注于高速旋转的基片上,滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地涂覆的设备,被叫做匀胶机。溶胶的黏度以及匀胶机的转速对于膜的厚度起到决定性作用。
特色智能程控匀胶机特点
1、Windows操作界面,内置电脑控制,USB接口和打印机等外部设备连接。
2、聚四氟乙烯腔体,不锈钢腔体
3、能够对镀膜程序自定义,能够任意变化镀膜步骤。40种镀膜程序,每种程序能够对40个步骤进行设置(能够按照用户要求任意扩展)。
4、耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢为机身所选用,不生锈,清洗起来相当便利。
5、全色7英寸触摸屏控制面板被采用,操作起来更加便利、简单和直观。
6、即时旋涂速度和时间通过图形显示,设置的参数旋涂过程一目了然。
特色智能程控匀胶机主要技术指标
转速稳定性:1 rpm
转速可重复性:1 rpm
镀膜尺寸:φ10 ~ 200 mm
镀膜时间设置: 1~9999 sec/ step
旋涂速度:0~ 5,000 rpm
旋涂加速度:0 ~ 30,000 rpm/s (空载)
特色智能程控匀胶机用途
智能程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪,其主要被用来替高等院校、科研院所、研发中xin等进行各种功能薄膜的研究,开发。对于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆十分适用。
特色智能程控匀胶机发展趋势
将预涂增粘剂(HMDS)的冷板和热板工艺模块加入到自动工作方式的匀胶机中为这些年以来的发展趋势,来使光刻胶和晶片的附着力得以增强。为了使生产率提高,多种工艺模块任意组合的积木式结构已经被国外研制出来,胶膜自动测量和监控装置也为其中的某些所带有。
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