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采用高能量的激光光束对材料表面进行照射,通过对基材表面的导电材料的剥离,使线路形成或者使一定的阻值达到,从而使刻蚀的目的达到的仪器,称为激光刻蚀机。下面就让小编带你了解一下激光刻蚀机的组成。
激光刻蚀机组成
光学系统、机械系统、控制系统、视觉系统、电器系统、外部组成部件等均属于激光刻蚀机的组成构件。
视觉系统:
激光刻蚀机为了使有效加工幅面得到保证,与此同时也为了使刻蚀精度、重复定位精度、重复工作精度得到保证,CCD相机定位被采用,也使硬件成本增加了。
控制系统:
控制软件有着非常强大的功能,也有着更加高的要求,需要同时对电器、电机、视觉、激光加工控制、激光光学器件进行控制,功能强大,属于定制软件。
光学系统:
激光器、振镜、场镜、扩束镜(光纤激光器内置扩束镜)均包含于光学系统中,由于加工需求不同,选择的光学器件也存在差异。光学系统按照据对应的激光器波长来对场镜、振镜、扩束镜进行选择,波长不同价格也就不同,一般而言,如果波长越短,那么其配件也就越贵。
机械系统:
包含了XY直线电机与Z轴电机三个电机控制的直线电机控制为激光刻蚀机所采用,可以使工作过程中的重复精度、定位精度、蚀刻精度等得到非常有效地保障。和伺服电机相比较,有着更高的精度,同时也有着更加高的成本,并且激光刻蚀机往往被用于大幅面(超过300毫米×300毫米规格)、超大幅面(超过1000毫米×1000毫米规格)的材料的加工,直线电机的幅面也就变得越大,也就有越高的价格。
其他:
控制显示设备、电器系统、外壳、机座等也包含于激光刻蚀机中。
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