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扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
扩散泵结构
喷射喷嘴、冷却系统、扩散器、加热器、油锅、蒸气导管、扩散喷嘴以及泵体等部分共同组成了油扩散泵。当油扩散泵使用前级泵预抽到比1帕真空还要低的时候,油锅能够开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流,热运动的气体分子往蒸气流中扩散,和定向运动的油蒸气分子发生碰撞。所以动量由气体分子所获得,与油蒸气分子运动方向相同的定向流产生。到前级,油蒸气被冷凝,气体分子被释放出来,也就被前级泵抽走而使得抽气目的达到。
扩散泵保养注意事项
1、橡胶应当可靠地在连接密封处进行密封。
2、如果暂时不使用扩散泵,在保管期间应当在室温保持真空状态,防止零件腐蚀以及泵油污染,并且吹净冷却水套内的剩水。
3、泵的性能在长期的工作以后会慢慢地变坏,应当对油量是否减少或氧化进行检查,在必要的时候对油量进行增加,在对新油进行更换时需要清洗以后再烘干。
4、油扩散泵在进行安装或者维修的时候应当垂直地进行放置,使泵芯部件处于正常工作状态。
5、在对零件及泵腔进行清洗的时候,shou先使用航空汽油清洗,之后使用丝绸蘸yi醚或丙酮进行擦洗,并且放到80-100摄氏度下进行烘干或者使用电吹风进行吹干。
6、在清洗结束以后,根据顺序进行装配,值得注意的是需要使泵芯垂直于泵底并且和泵腔同心得到保持,需要根据原有的要求将各级喷嘴间隙调整好。
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