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扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
扩散泵真空操作规程
1、对真空系统各部分进行检查,对系统的气路结构加以熟悉,对真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接加以了解。
2、将放气阀门关闭掉,将机械泵启动,对系统进行抽气,并且系统各部分随时通过火花检漏器进行检漏。
3、当系统真空度和油扩散泵的前置压强相同时,对扩散泵进行启动,将加热电流慢慢升高到额定值。在对扩散泵进行启动前,冷却水必须shou先开。
4、扩散泵正常工作以后,量测系统的真空度采用火花检漏器来进行判断,一直到超过1-3e托,才可以对电离真空计进行使用。在使用的时候首先对规管除气,之后再对真空度进行测量。
5、对系统进行烘烤去气处理。对于玻璃系统来说,400-450摄氏度为硬玻璃烘烤温度。350-400摄氏度为软玻璃烘烤温度。去气时间由具体要求决定,通常一到两个小时。在结束去气之后,真空度依然不能够达到要求。对于漏气与否的判断应当使用电离计记P-t曲线。也能够采用丙酮、酒精等对可疑处进行涂抹。通过对表针摆动的观察来对漏孔进行发现。如果不能够良好地将气去掉,应当进一步进行烘烤,来使去气时间加长。新系统抽气的时间通常需要比较长才可以使预期的真空度达到。真空度一直上不去,那么就需要对系统设计、安装合理与否、被抽容器清洁与否、是否有脏物在维修时被带入,放气源是否多等其他因素进行留心。
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