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扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
扩散泵改进措施
扩散泵系统之所以压强不稳定,既有内部原因也有外部原因。
内部原因:
1、喷咀内的液滴
2、蒸汽冷凝
3、锅炉周围泄漏,要对泵体进行检漏。
4.泵油不稳定地沸腾或者爆沸
5、处于导流管外部的油的沸腾。
6、轻气体压缩比较低。
外部原因:
1、前级耐压比较高。
2、阱除霜
3、阱内冷冻层的破裂
4、来源于橡胶垫圈的气泡。
5、由障板上滴落的泵油。
由于锅炉内泵油的沸腾不稳定,从而导致喷出的蒸汽射流的密度发生波动,抽速和轻气体压缩比也因此会出现变动。锅炉也许会一时偏热,从而会造成有一段时间会爆沸,有翼片的锅炉为油扩散泵所采用,使内表面积增加,使热流密度降低,爆沸会由于功率的增加而消除或者减低到zui小,此为一种补救的方法。
在真空中,自爆升腾会因为qiang力的爆沸所引起。对于喷咀,会导致瞬间堵塞,使汽流波动引起。将防爆板加到泵内,能够使爆沸的影响得以避免。由于对轻气体有着较低的压缩比,能够使压力的不稳定引起。对功率和泵的级数进行增加时有所帮助的。将侧面出口喷射喷咀和扩压器设置在扩散泵中,能够降低扩散泵的不稳定性到zui小。顶喷咀帽偏冷会造成不连续的蒸汽流,造成压力的不稳定。将顶喷咀的温度设法保持住,使得其不过冷。
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