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扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
扩散泵使用事项
下述为扩散泵的使用注意事项:
1、若在扩散泵正常工作时,真空度突然降低,那么应当shou先对加热器断路与否进行检查,然后再对是否有漏点存在进行检查。
2、如果新安装的扩散泵不能够达到极限真空度,那么应当对密封可靠与否以及装配正确与否进行检查。
3、由于前级机械泵变坏后,会对油扩散泵的正常工作产生直接影响,因此在扩散泵工作过程中,应当对前级机械泵的工作情况加以注意。
4、机械泵的极限压力应当低于扩散泵前级压力一个数量级为基本要求。
5、需要定期对泵的性能进行检查,将扩散泵油更换成符合要求的,可以参考使用说明书。
6、扩散泵在加热前及工作过程中必须使冷却水保持畅通,在加热停止以后,必须对泵油已经冷却完全才可以将冷却水关闭,具体冷却到什么温度才可以将冷却水关闭。
7、扩散泵在工作停止时,真空状态应当在泵内保持,防止大气放人导致泵油氧化,从而使泵油寿命得以延长。
8、只有扩散泵的前级真空被达到,才可以进行加热,不然的话,泵油的氧化会加速。
9、干燥、无腐蚀、无灰尘气体应当被抽。
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