离子减薄仪的工作原理

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪的工作原理

氩气的电离采用高压来进行，在电场是作用下，电离后的氩离子对样品表面进行轰击。在氩离子的持续轰击下，样品慢慢减薄，一直到使透射电镜观察要求满足，此即为离子减薄仪的工作原理。氩离子抛光仪和离子减薄仪有着相同的原理，也是通过氩离子对样品表面进行轰击，使得样品表面变得平整光滑，因此该仪器大体上不需要太多的改变。

离子减薄仪为专门为透射样品的制备而设计的仪器（透射电镜样品为厚度为几微米，直径为三毫米的薄片）。为了使设备工作条件得到满足。需要预处理扫描电镜样品，shou先将样品切割成一毫米厚的薄片，再使用砂纸打磨样品，在打磨样品表面的时候，需要从粗到细地对砂纸进行选择。

透射电镜样品具有非常小的尺寸，需要在载片中间的小孔上粘样品。扫描电镜观察的样品尺寸要远远大于透射样品。为了使效率提高，样品一次能够多放几个，在样品台上用热熔胶固定，之后所要做的工作就是对包括电压、氩离子流，样品倾角、抛光时间等工作参数进行调整。工作电压和氩离子流的增加能够使抛光效率有所提高，然而若这两个参数过高，容易损伤样品。