离子减薄仪注意事项

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪注意事项

日常关机

平常结束使用之后没有必要关机

停电关机

1、对氩气钢瓶关紧与否进行确认。

2、将总电源关掉。

复电开机

1、将氩气钢瓶打开

2、将总电源打开

3、对离子枪进行吹扫，从而将离子枪表面水气去除，防止由于空气污染导致离子枪不稳定，当室内压力比5-3e帕要低时，将两个气阀开关打开，净化15分钟，当离子枪束流值在在5KeV，比8μA低时能够停止。

4、必须要等到真空度达到5-4e帕才能够进行正常的工作。

5、当将离子枪拆下又重新装回需要对离子枪束流和离子束位置进行调整

离子减薄仪技术指标

1、样品台倾斜范围：-120到210度，精度为0.1度

2、SEM平面研磨台：zui大φ25毫米×12毫米，TEM和FIB样品台：φ3毫米。

3、能够设定终止加工透光量阈值来使远程控制得以实现。

4、冷冻系统使制样过程温度不超过25摄氏度得到保证。

5、独立双氩离子源，能够倾斜±45度。

6、10度范围内小角度减薄单面和双面，能够使大面积离子抛光或减薄得以实现。

7、粒子能量：800伏-10千伏可调，补偿0.1千伏，离子束流：zui高4.5毫安。