超声扫描显微镜介绍

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来，可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如：被测物体没有必要透光；对于生物组织切片或样品没有必要染色，能够及时地进行观察；对于大规模集成电路，没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。

超声扫描显微镜介绍

利用发射短波向着样品内部传递，在从两种不同材质之间界面通过的时候，因为不同材质的阻抗存在差异，吸收和反射程度也会有所差异，从而使得样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷通过相位信息的变化或者采集的反射能量信息来进行检查。许多行业领域在各类样品中检查和寻找瑕疵的重要手段就是先进的显微成像的技术。在对材料进行检查的时候又要使样品保持完整，特别突出的是此项非破坏性检测技术。

超声扫描显微镜工作模式

超声波扫描显微镜包括超声波脉冲反射和透射模式两种工作模式，这两种工作模式是基础。其中zui主要的工作模式是反射模式。较高的分辨率以及对待测样品厚度的没有限制为其特点。透射模式仅仅在半导体企业中被用作器件筛选。 

超声扫描显微镜技术指标

1、换能器频率：15兆赫兹、30兆赫兹、35兆赫兹、50兆赫兹、100兆赫兹、110兆赫兹、230兆赫兹和400兆赫兹。

2、扫描范围：320毫米×320毫米

3、X-Y轴扫描重复精度：±0.1毫米