离子减薄仪

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪的工作原理

氩气的电离采用高压来进行，在电场是作用下，电离后的氩离子对样品表面进行轰击。在氩离子的持续轰击下，样品慢慢减薄，一直到使透射电镜观察要求满足，此即为离子减薄仪的工作原理。氩离子抛光仪和离子减薄仪有着相同的原理，也是通过氩离子对样品表面进行轰击，使得样品表面变得平整光滑，因此该仪器大体上不需要太多的改变。

离子减薄仪为专门为透射样品的制备而设计的仪器（透射电镜样品为厚度为几微米，直径为三毫米的薄片）。为了使设备工作条件得到满足。需要预处理扫描电镜样品，shou先将样品切割成一毫米厚的薄片，再使用砂纸打磨样品，在打磨样品表面的时候，需要从粗到细地对砂纸进行选择。

透射电镜样品具有非常小的尺寸，需要在载片中间的小孔上粘样品。扫描电镜观察的样品尺寸要远远大于透射样品。为了使效率提高，样品一次能够多放几个，在样品台上用热熔胶固定，之后所要做的工作就是对包括电压、氩离子流，样品倾角、抛光时间等工作参数进行调整。工作电压和氩离子流的增加能够使抛光效率有所提高，然而若这两个参数过高，容易损伤样品。

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪操作规程：

操作前准备

1.对是否仍然有氩气存在于氩钢瓶中进行确认，25PSI为输出压力。

2、将左右离子枪氩气关掉，将载台上升，仪器真空能够达到5E-4帕。

3、对左右离子枪离子束是否对中进行确定。

试片交换

1、采用试片座固定好试片，并且往zhong心移动待减区。

2、将stage按住，上滑绿色箭头使载台上升，将vent按住，将预抽室上盖取下

3、往预抽室样品座放入试片座，将预抽室上盖盖上。

4、将stage按住，下滑绿色箭头使载台下降，等到指示灯从黄变绿就行

减簿及观察

1、对所需的减薄时间进行设定。

2、对工作电压进行设定（通常设定成4或者5Kev）

3、对离子枪工作模式进行设定（通常设定成双离子束调变）

4、对左右离子枪工作角度进行调整（通常为±4度）

5、将氩气工作模式调整为自动气体

6、对载台转速进行设定（通常是3RPM）

7、对启动进行点击开始工作。

8、在工作期间能够对Viewing 选项进行点击，通过CCD来对样品减薄情况进行观察。

9、样品穿孔后能够对低电压进行更换继续减薄，一直到薄区良好。

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪功能开发作用及意义

页岩气为一种非常规且十分重要的油气资源。在21世纪，美国在页岩气开发方面所取得的进展相当迅速，使大规模工业化开采得以实现，使得大举进口天然气的局面得到改变，提高了全面的自给自足的可能性，还非常有希望变成液化天然气出口国。我国的页岩气资源也同样蕴藏丰富，然而我国的页岩气有着更大的开采难度，页岩气要深于美国非常多。到目前为止，勘探开发依然处在初级阶段，有待开展许多基础研究工作，在这当中，有着重要的研究价值的就是作为页岩气储存空间及流通通道的微孔隙及微裂缝。页岩样品的氩离子抛光由于对离子减薄仪的功能开发而得以实现，并且页岩中各种类型的微孔隙及微裂缝成功地用扫描电镜观察到了，提供一个深入研究页岩的有效方法。对离子减薄仪的功能开发，不仅使科研对氩离子抛光仪的急需得到满足，与此同时也使仪器利用率得到提高，使实验室的服务项目得到增加。

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪注意事项

日常关机

平常结束使用之后没有必要关机

停电关机

1、对氩气钢瓶关紧与否进行确认。

2、将总电源关掉。

复电开机

1、将氩气钢瓶打开

2、将总电源打开

3、对离子枪进行吹扫，从而将离子枪表面水气去除，防止由于空气污染导致离子枪不稳定，当室内压力比5-3e帕要低时，将两个气阀开关打开，净化15分钟，当离子枪束流值在在5KeV，比8μA低时能够停止。

4、必须要等到真空度达到5-4e帕才能够进行正常的工作。

5、当将离子枪拆下又重新装回需要对离子枪束流和离子束位置进行调整

离子减薄仪技术指标

1、样品台倾斜范围：-120到210度，精度为0.1度

2、SEM平面研磨台：zui大φ25毫米×12毫米，TEM和FIB样品台：φ3毫米。

3、能够设定终止加工透光量阈值来使远程控制得以实现。

4、冷冻系统使制样过程温度不超过25摄氏度得到保证。

5、独立双氩离子源，能够倾斜±45度。

6、10度范围内小角度减薄单面和双面，能够使大面积离子抛光或减薄得以实现。

7、粒子能量：800伏-10千伏可调，补偿0.1千伏，离子束流：zui高4.5毫安。