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ALICAT气体质量流量控制器产品系列

MC 标准系列

控制响应Z快、Z稳定的流量控制器。

MCR 大流量系列

极ng确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为duyi无二的无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

Zda限度减小压损对系统的影响，满量程压损Zdi仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，是航空航天、环境气体分析等应用的wan美选择；Zda量程：0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列

MCE / MCV 半导体行业专用系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCV