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对于不导电材料，在入射电子束的作用下，其表面会积累电荷，这些电荷会对扫描电镜背散射电子成像和二次电子成像产生不良影响；同时对入射电子束产生“减速”作用，进而减小电子束的着陆电压，对能谱的准确性产生极大负面影响。