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钛是一种非常软的易延展的金属，制备纯钛及钛合金样品时，极易产生机械孪晶、塑性变形、研磨颗粒嵌入、划痕去除不完全等缺陷，纯手动方法制备时更容易导致样品表面不平整，进而掩盖了组织本质，造成假象。因此，快速方便制备组织清晰、无划痕、无变形、无嵌入、无假象的钛及钛合金是金相分析的基本要求。
目前部分学者认为钛合金不能用酚醛树脂镶嵌，因为钛合金可能会从树脂里吸氢。另外，镶嵌样品的热量可能导致氢化物进入溶液。即使是在冷镶嵌时，如果聚合放热反应产生热量太多时，上述现象也会发生。如果含氢的相是主要检测的项目的话，那么试样应采取温度较低的冷镶嵌树脂，其聚合放热反应产生热量少。同时由于钛研磨抛光速率低，在ZZ抛光步骤中应添加侵蚀抛光剂，以求获得ZJ的结果。在切割、镶嵌、磨抛时我们推荐使用标乐相关产品进行样品制备。
再配合使用OLYMPUS BX/GX系列金相显微镜对钛及钛合金金相组织、晶粒度进行观察测量，为了获得更好的观察效果建议使用偏振光、微分干涉（DIC）分析；同时也可对钛合金表面氧化膜微观形态变化进行观察。