扫描电子显微镜的功能
扫描电子显微镜利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。
扫描电子显微镜的原理
扫描电子显微镜是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。
纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列(点击图片查看更多产品详情)
扫描电子显微镜功能
1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)。
2、扫描电子显微镜能显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定,如:化学成分像分布,微区化学成分分析。
①用x射线能谱仪或波谱采集特征x射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析,相鉴定。
②利用背散射电子BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像。
③利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。
④利用样品电流,基于平均原子序数反差,生成的化学成分相的分布图像,该图像与背散射电子图像亮暗相反。
⑤利用俄歇电子,对样品物质表面1nm表层进行化学元素分布的定性定理分析。
3、在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:
①利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中PN结的定位和损伤研究。
②利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
③利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4、扫描电子显微镜利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。
扫描电子显微镜对科学研究与企业生产都有巨大的作用,在新型陶瓷材料显微分析中也有广泛的应用。
扫描电子显微镜用途
扫描电子显微镜可以对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸,纺织品,自然的或制备过的木头的细微结构,生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如:花粉颗粒,硅藻和昆虫。另一方面,它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。
在扫描电子显微镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P-N结内部缺陷。
电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电子显微镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。
扫描电子显微镜对于固体材料的研究应用非常广泛,没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料的全面特征的描述,扫描电子显微镜是至关重要的。
全部评论(0条)
推荐阅读
-
- 扫描电子显微镜的功能
- 扫描电子显微镜利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。
-
- 扫描电子显微镜应用
- 扫描电子显微镜是利用细聚焦电子束在固体样品表面逐点扫描,激发出二次电子、背散射电子、X射线等信号,经放大后在阴极射线管上产生反映样品表面形貌的图像。
-
- 扫描电子显微镜用途
- 扫描电子显微镜在材料的分析和研究方面应用十分广泛,主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。
-
- 扫描电子显微镜特点
- 扫描电子显微镜的出现,使人类观察微小物质的能力有了质的飞跃。相对于光学显微镜,扫描电子显微镜在分辨率、景深及微分析等方面具有巨大优越性,因而发展迅速,应用广泛。
-
- 扫描电子显微镜使用
- 扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
-
- 扫描电子显微镜结构
- 扫描电子显微镜是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。扫描电子显微镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。
-
- 扫描电子显微镜原理
- 扫描电子显微镜利用极细电子束在被观测样品表面上进行扫描,通过分别收集电子束与样品相互作用产生的一系列电子信息,经转换、放大而成像的电子光学仪器。是研究三维表层构造的有利工具。
-
- 扫描电子显微镜发展
- 扫描电子显微镜的设计思想早在1935年便已提出,1942年制成第一台扫描电子显微镜,但因受各种技术条件的限制,进展一直很慢。1965年,在各项基础技术有了很大进展的前提下才诞生了第一台实用化的商品。
-
- 环境扫描电子显微镜工作原理
- 环境扫描电子显微镜是近年发展起来的新型扫描电镜。它克服了普通扫描电镜对试样必须干燥、洁净、导电的要求,可以在高真空度下作为普通扫描电镜使用,也可以在低真空度和模拟试样环境下对试样进行微区分析。
-
- 扫描电子显微镜工作原理及应用
- 扫描电子显微镜是很先进的一种电子光学仪器,它采用细聚焦高压电子束在材料样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像,类似于电视摄影的显像方式,放大倍数远远超过普通光学显微镜,可达到几十万倍甚至更高。
-
- 环境扫描电子显微镜的原理|结构|应用
- 环境扫描电子显微镜,是指扫描电子显微镜的一个重要分支。具有以下特点:放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等,现已被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造等各个研究领域。
-
- 扫描电镜光阑的应用
- 扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
-
- 扫描探针显微镜的应用
- 扫描探针显微镜是基于探针在被测试样表面上进行纵、横向扫描引起相关检测量变化的原理研制的设备。已渗入微电子技术、生物技术、基因工程、生命科学、材料科学、表面技术、信息技术和纳米技术等各种尖端科学领域。
-
- 扫描探针显微镜的分类
- 扫描探针显微镜不是简单成像的显微镜,而是可以用于在原子、分子尺度进行加工和操作的工具。扫描探针显微镜的应用领域是宽广的,无论是物理、化学、生物、医学等基础学科,还是材料、微电子等应用学科都有用武之地。
-
- 有机质谱仪的功能
- 主要被用来鉴定有机化合物,对化合物的分子量、元素组成以及官能团等结构信息进行提供的仪器,被称为有机质谱仪。有机质谱仪包括磁质谱仪、飞行时间质谱仪、离子阱质谱仪以及四极杆质谱仪。
-
- 纯水机的功能
- 纯水机,大量应用于医药、电子、玻璃、化工、渡涂、锅炉、化验室等行业的纯水、超纯用水制取。纯水机的功能 1、控制功能:
-
- 气相色谱仪的功能
- 气相色谱仪作为一种高效、快速、高灵敏度的现代分析仪器在我国正逐渐普及并广泛应用。特别是信息时代的来临气相色谱仪的更新换代十分迅速,科技含量越来越高。
-
- 芯片检测仪的功能
- 芯片检测仪涉及生物芯片检测技术和体外临床检测技术领域,主要用于对化学发光和其他自发光形式的生物芯片反应结果进行检测和分析。芯片检测仪有多种设计类型,但任何类型都有共聚焦激光扫描探测系统及以下基本功能。
-
- 超声扫描显微镜领域
- 超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。
-
- 超声扫描显微镜现状
- 超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布,观点仅代表作者本人,不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们立即通知作者,并马上删除。
②凡本网注明"来源:仪器网"的所有作品,版权均属于仪器网,转载时须经本网同意,并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
参与评论
登录后参与评论