超声扫描显微镜反射模式
超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来,可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如:被测物体没有必要透光;对于生物组织切片或样品没有必要染色,能够及时地进行观察;对于大规模集成电路,没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。
超声扫描显微镜反射模式
带压电陶瓷的微波链为超声显微镜反射模式的核心,在射频信号发生的激励下,短的声脉冲由压电陶瓷产生,在此之后,声透镜聚焦了这些声脉冲。换能器即为超声波扫描显微镜的这个带压电陶瓷的部件的名称。电信号可以通过换能器被转换成声波信号,电信号又可以通过从待测样品反射或透射回来的声波信号转换而来,送回系统进行处理。
将电磁脉冲转换成声脉冲为换能器的主要功能,离开换能器以后,声透镜利用耦合介质(通常是去离子水或无水酒精等)在样品上聚焦声波。为了避免超声波信号快速衰减是耦合介质的主要原因,由于在一些稀疏介质中传超声波信号,因此是会快速衰减。在耦合介质中放置样品,只要在样品表面或者内部声波信和声波阻抗介面相遇,就会有反射发生。
反射信号被换能器接收了以后,会被转换成电脉冲,256级灰度值为超声波信号转换成电脉冲后的表征。特定的超声波频率为每只换能器所具有,能够针对用户的需要特别配置。超声波扫描显微镜反射工作模式的基本过程即为此过程。
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