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4月28日网络讲座:原子力轮廓仪的原理及其应用

来源:Park原子力显微镜公司      分类:商机 2022-04-24 15:19:06 528阅读次数

Park网络讲座

原子力轮廓仪的原理及其应用

Principles and Applications of Atomic Force Profiler


Atomic Force Profiler模式可以获取长距离样品表面高度的纳米尺度变化


网络讲座介绍:


#1

  Park低杂讯原子力显微镜与长距离滑动平台(Long range sliding stage)技术相结合,创造出原子等级的长距离表面轮廓分析仪器(Atomic Force Profiler, AFP). 最 佳轮廓的精度和重复性,使其成为半导体产业先进制造中不可或缺的分析仪器。


#2

  Park独 家的非接触式扫描(True Non-Contact Mode),让原子力显微镜可以进行线上(In-line)非破坏式高解析扫描,不仅大幅延长了探针的使用寿命,也保护了样品表面不受探针的损伤。而利用2D profile 模式,用户能够获取比传统AFM更大范围的表面轮廓(可达50mm x 50mm),并能达到原子等级的高度信息。


#3

  本次讲座介绍了AFM以及非接触式扫描的基本原理,比较不同表面轮廓分析仪器的差异,再进一步讲解AtomicForce Profiler 模式在不同类型样品的量测及分析方法,以及AtomicForce Profiler大范围扫描在产业界的研究及应用的优势与发展。

日期:4月28日

北京时间:上午10:00-11:00

左方扫码申请参会



报告人:

Park原子力显微镜公司

高级工程师 陈灏


  在Park公司主要从事原子力显微镜在半导体领域的相关应用和开发工作,对缺陷成像和分析,表面粗糙度测量,缺陷检测,CMP测量(包括凹陷、侵蚀和边缘过度侵蚀(EOE)的局部和全局的平坦度测量)等领域具有丰富的经验。


400-878-6829

www.parksystems.cn


Park北京分公司

北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室 


Park上海实验室

上海市申长路518号虹桥绿谷C座305号


Park广州实验室

广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211


标签:原子力轮廓仪 原子力显微镜 距离滑动平台 非接触式扫描

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最近更新:2024-09-05 09:08:14
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