4月28日网络讲座:原子力轮廓仪的原理及其应用
Park网络讲座
原子力轮廓仪的原理及其应用
Principles and Applications of Atomic Force Profiler
Atomic Force Profiler模式可以获取长距离样品表面高度的纳米尺度变化
网络讲座介绍:
#1
Park低杂讯原子力显微镜与长距离滑动平台(Long range sliding stage)技术相结合,创造出原子等级的长距离表面轮廓分析仪器(Atomic Force Profiler, AFP). 最 佳轮廓的精度和重复性,使其成为半导体产业先进制造中不可或缺的分析仪器。
#2
Park独 家的非接触式扫描(True Non-Contact Mode),让原子力显微镜可以进行线上(In-line)非破坏式高解析扫描,不仅大幅延长了探针的使用寿命,也保护了样品表面不受探针的损伤。而利用2D profile 模式,用户能够获取比传统AFM更大范围的表面轮廓(可达50mm x 50mm),并能达到原子等级的高度信息。
#3
本次讲座介绍了AFM以及非接触式扫描的基本原理,比较不同表面轮廓分析仪器的差异,再进一步讲解AtomicForce Profiler 模式在不同类型样品的量测及分析方法,以及AtomicForce Profiler大范围扫描在产业界的研究及应用的优势与发展。
日期:4月28日
北京时间:上午10:00-11:00
左方扫码申请参会
报告人:
Park原子力显微镜公司
高级工程师 陈灏
在Park公司主要从事原子力显微镜在半导体领域的相关应用和开发工作,对缺陷成像和分析,表面粗糙度测量,缺陷检测,CMP测量(包括凹陷、侵蚀和边缘过度侵蚀(EOE)的局部和全局的平坦度测量)等领域具有丰富的经验。
400-878-6829
www.parksystems.cn
Park北京分公司
北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室
Park上海实验室
上海市申长路518号虹桥绿谷C座305号
Park广州实验室
广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211
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