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新一代原子分辨率分析型电子显微镜GRAND ARMTM2发布

来源:捷欧路(北京)科贸有限公司      分类:政策 2020-03-31 14:24:02 386阅读次数

    日本电子株式会社(代表取締役社長兼COO 大井 泉)宣布:新型原子分辨率分析电子显微镜“GRAND ARM™2” (JEM-ARM300F2)于2020年2月开始销售。

    开发背景

    近年来,电子显微镜的开发都在追求分辨率的提高。日本电子一直致力于提高电子显微镜的稳定性,并结合像差校正技术,一举打破了分辨率的壁垒。

    GRAND ARMTM虽然是具有超高分辨率的原子级分析能力的电子显微镜,但对应硬质材料和软质材料的分析还追寻更高的分辨率和分析精度。

    日本电子应对这些要求,开发出新型的电子显微镜GRAND ARMTM2, 该电子显微镜标配新型的物镜极靴FHP2,实现了超高原子分辨率成像和Zda立体角EDS的元素分析。另外,能够减轻外部环境干扰的外壳也变成该设备的标准配置,从而设备的稳定性得到进一步的提高。

    主要特点

    1.   超高空间分辨率下高灵敏度EDS分析

         标配新型物镜极靴FHP2 

      * 与之前的FHP相比,FHP2  x射线检测率提高2倍以上

      * 利用低色差和低球差系数的光学常数,无论采用怎样的加速电压都能获得超高空间分辨率和高灵敏度的x射线分析(STEM分辨率:53pm@300kV、96pm@80kV)

    2.   可配备高灵敏度x射线分析的物镜极靴WGP

         采用大间隙WGP:

      * 大面积的SDD更接近样品,可以进行超高灵敏度的x射线分析(立体角2.2sr)

      * 可以使用厚的样品杆,进行各种各样的观察实验

    3.   设备主体与球差校正器一体化

        * 采用FHP2,300kV下,STEM空间分辨率53pm;

        * 采用WGP,300kV下,STEM空间分辨率59pm

    4.   标配冷场发射电子枪 (Cold-FEG)

    5.   配备减轻外部环境干扰(气流、室温、噪音)的外壳


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最近更新:2024-09-05 09:08:13
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