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上海长方光学仪器有限公司

什么是无尘洁净室等级划分与静态动态

来源:内容来源于网络 浏览量:67次
【导读】 什么是无尘洁净室等级划分与静态动态?笔者从事洁净行业多年,与大家一起去探讨一下。一、洁净等级划分:十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等。(静态)二、联邦209E标准:每立方英

什么是无尘洁净室等级划分与静态动态?笔者从事洁净行业多年,与大家一起去探讨一下。
一、洁净等级划分:十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等。(静态)
二、联邦209E标准:每立方英尺空间内粒径为0.5um的粒子不超过多少个。美国联邦标准FS209E中的洁净等级
等级名称
等级限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
国际单位
英制
单位
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft 3
M1.0
 
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
/
/
M1.5
1
1240
35.0
265.0
7.5
106
3
35.3
1
/
/
M2.0
 
3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
/
/
M2.5
10
12400
350.0
2650
75
1060
30
353
10
/
/
M3.0
 
35000
991.0
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
/
/
M3.5
100
/
/
26500
750
10600
300
3530
100
/
/
M4.0
 
/
/
75700
2140
30900
875
10000
283
/
 
/
 
M4.5
1000
/
/
/
/
/
/
35300
1000
247
7
M5.0
 
/
/
/
/
/
/
100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
/
/
/
/
/
/
353000
10000
2470
70
M6.0
 
/
/
/
/
/
/
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
/
/
/
/
/
/
3530000
100000
24700
700
M7.0
 
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/
/
/
/
10000000
283000
61800
1750
三洁净室的空间占用状态:
1、空态:洁净室所有设施要安装完成并在工作,但无生产设备、材料或人员在场。
2、静态:洁净室所有设施在运行,生产设备安装完成并心供需双方同意的方式运行,但无人员在场。
3、动态:设施、设备心规定的方式运行,有规定数量的人员按事先同意的方式在工作。
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2006-06-27 12:10:08
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