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- 【导读】 多普勒激光干涉仪MCV-5000是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。多普勒激光干涉仪MCV-5000有单频的和双频的两种。单频的是在20...
多普勒激光干涉仪MCV-5000是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。多普勒激光干涉仪MCV-5000有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,Z初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。多普勒激光干涉仪MCV-5000在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10。多普勒激光干涉仪MCV-5000是激光在计量领域中Z成功的应用之一。利用光的干涉实现测量,具有非接触、无损检测的特点,已经在各个不同领域得到广泛的应用。 多普勒激光干涉仪MCV-5000是以波长为基本计量单位的,多波长激光器的发展,是实现不同长度“尺子”的基础。激光器可以稳定地输出多种波长的激光,利用光学拍波技术,可以将这些单波长合成为一组波长相近、间隔均匀的“合成波长链”。“合成波长链”是一个塔形结构,塔顶是Zgao一级合成波,其波长Z长,塔底则是单波长。测量时,多普勒激光干涉仪MCV-5000以不同波长的激光工作,从Zgao级(Z长波)开始,逐级下降,直至单波长。多普勒激光干涉仪MCV-5000的测量结果是在各种波长干涉下的一组剩余相位,以此可推导出总测量长度,由于每次的测量值都是剩余相位,与测量过程无关,因此不需要导向导轨。 多普勒激光干涉仪MCV-5000的优越性主要有以下几点: 1.精度高,多普勒激光干涉仪MCV-5000以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级,细分后更可达到nm量级。 2.应用范围广,多普勒激光干涉仪MCV-5000除了可用于长度的精密测量外,测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等,还可以分光进行多路测量。 3.环境适应力强,即使光强衰减90%,仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点,多普勒激光干涉仪MCV-5000既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机,也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
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- 2004-08-24 09:23:04
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