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IFM电容式传感器特点:
1)结构简单,适应性强电容式传感器结构简单,易于制造,精度高,可以做得很小,以实现某些特殊的测量。电容式传感器一般用金属作电极,以无机材料作绝缘支承,因此可工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中,能承受很大的温度变化,承受高压力、高冲击、过载等,能测超高压和低压差。
2)动态响应好IFM电容式传感器由于极板间的静电引力很小,需要的作用能量极小,可动部分可以做得小而薄,质量轻,因此固有频率高,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,特别适合于动态测量。电容式传感器可以用较高频率供电,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数,如测量振动、瞬时压力等。
3)分辨率高由于IFM传感器的带电极板间的引力极小,需要输入能量低,所以特别适合于用来解决输入能量低的问题,如测量极小的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常高,能感受0.001pm,甚至更小的位移。
4)温度稳定性好IFM电容式传感器的电容值一般与电极材料无关,仅取决于电极的几何尺寸,介质损耗非常小。应选择温度系数低的材料,其本身发热极小,因此影响稳定性也极微小。
5)可窦现非接触测量、具有平均效应在被测试件不能受力、高速运动、表面不连续,以及表面不允许有划痕等情况下,传感器不能与被测试件有接触,电容式传感器就可以完成这样的测量任务。如回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等,采用非接触测量时,IFM电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
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- 2004-09-06 09:23:06
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