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- 【导读】IFM电容式传感器优点是结构简单,价格便宜,灵敏度高,零磁滞,真空兼容,过载能力强,动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺点是输出有非线性,寄生电容和分布电容...
IFM电容式传感器优点是结构简单,价格便宜,灵敏度高,零磁滞,真空兼容,过载能力强,动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺点是输出有非线性,寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大,以及联接电路较复杂等。
IFM电容传感器介绍:用电测法测量非电学量时,首先必须将被测的非电学量转换为电学量而后输入之。通常把非电学量变换成电学量的元件称为变换器;根据不同非电学量的特点设计成的有关转换装置称为传感器,而被测的力学量(如位移、力、速度等)转换成电容变化的传感器称为IFM电容传感器。从能量转换的角度而言,电容变换器为无源变换器,需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。力学量中的线位移、角位移、间隔、距离、厚度、拉伸、压缩、膨胀、变形等无不与长度有着密切联系的量;这些量又都是通过长度或者长度比值进行测量的量,而其测量方法的相互关系也很密切。另外,在有些条件下,这些力学量变化相当缓慢,而且变化范围极小,如果要求测量极小距离或位移时要有较高的分辨率,其他传感器很难做到实现高分辨率要求,在精密测量中所普遍使用的差动变压器传感器的分辨率仅达到1~5μm数量级;而有一种电容测微仪,他的分辨率为0.01μm,比前者提高了两个数量级,Zda量程为100±5μm,因此他在精密小位移测量中受到青睐。
IFM电容传感器也属于具有开关量输出的位置传感器,是一种接近式开关。它的测量头通常是构成电容器的一个极板,而另一个极板是待测物体的本身。当物体移向接近开关时,物体和接近开关的介电常数发生变化,使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化。由此,便可控制开关的接通和关断。
IFM电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点:
(1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输人能量也很低。电容式传感器因带电极板间静电引力极小(约几个10-5N),因此所需输入能量极小,所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常,能感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关,有利于选择温度系数低的材料,又因本身发热极小,对稳定性影响甚微。
(3)结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中,也能对带有磁性的工件进行测量。
(4)动态响应好。由于极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此其固有频率很高,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,特别适合动态测量,如测量振动、瞬时压力等。
(5)可以实现非接触测量,具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工作表面粗糙等对测量的影响。
IFM电容式传感器存在的不足之处如下:
(1)输出阻抗高,负载能力差。
(2)寄生电容影响大。
IFM电容式传感器的初始电容量很小,而传感器的引线电缆电容(lm~2m导线可达800pF)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大,这一方面降低了传感器的灵敏度;另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的,将使传感器工作不稳定,影响测量精度,其变化量甚至超过被测量引起的电容变化量,致使传感器无法工作。因此对电缆的选择、安装、接法都要有要求。
为减小电缆分布电容影响,可将电子线路的前级装在离传感器敏感部分很近的地方,或采用所谓“双层屏蔽等电位传输技术”,
又称“驱动电缆”技术。这种方法的基本思路是:连接电缆采用内外双层屏蔽,使内屏蔽层与被屏蔽的导线电位相同,因而两者之间没有容性电流存在,这样使引线与内屏蔽之间的电缆电容不起作用,外屏蔽仍被接地而对外界电场起屏蔽作用,其原理如图5-15所示。外屏蔽接地后,对地之间电容将成为1:1放大器的负载,它也与电容式传感器的电容无关。这样无论电缆形状和位置如何变化,都不会对传感器的工作产生影响。
IFM电容式传感器两点注意:
工作频率等于或接近谐振频率时,谐振频率破坏了电容的正常作用。因此,工作频率应该先择低于谐振频率。
IFM电容式传感器的有效电容除与位移有关外,还与角频率有关。因此,在实际应用时必须与标定的条件(ω)相同。
IFM电容传感器的特点:电容量小,变化更小(PF级)。理论上,交流电桥可作为IFM电容传感器的测量电路,但由于电容及变化太小,不易实现。包括(1)调频电路(2)运算放大器式电路(3)二极管双T形交流电桥(4)脉冲宽度调制电路
调频电路
IFM电容式传感器使用注意一:
(1)转换电路生成频率信号,可远距离传输不受干扰。
(2)具有较高的灵敏度,可以测量高至0.01μm级位移变化量。
(3)但非线性较差,可通过鉴频器(频压转换)转化为电压信号后,进行补偿。
IFM电容式传感器使用注意二:
(1)解决了单个变极板间距离式IFM电容传感器的非线性问题
(2)要求Zi及放大倍数足够大
(3)为保证仪器精度,还要求电源电压的幅值和固定电容稳定
(4)由于Cx变化小,所以该电路实现起来困难
(5)输入阻抗高(避免泄漏)、放大倍数大(接近理想放大器)
IFM电容式传感器特点:
1.IFM电容式传感器所具有的优点1)结构简单,适应性强电容式传感器结构简单,易于制造,精度高,可以做得很小,以实现某些特殊的测量。电容式传感器一般用金属作电极,以无机材料作绝缘支承,因此可工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中,能承受很大的温度变化,承受高压力、高冲击、过载等,能测超高压和低压差。
2)动态响应好IFM电容式传感器由于极板间的静电引力很小,需要的作用能量极小,可动部分可以做得小而薄,质量轻,因此固有频率高,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,特别适合于动态测量。电容式传感器可以用较高频率供电,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数,如测量振动、瞬时压力等。
3)分辨率高由于IFM传感器的带电极板间的引力极小,需要输入能量低,所以特别适合于用来解决输入能量低的问题,如测量极小的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常高,能感受0.001pm,甚至更小的位移。
4)温度稳定性好IFM电容式传感器的电容值一般与电极材料无关,仅取决于电极的几何尺寸,介质损耗非常小。应选择温度系数低的材料,其本身发热极小,因此影响稳定性也极微小。
5)可窦现非接触测量、具有平均效应在被测试件不能受力、高速运动、表面不连续,以及表面不允许有划痕等情况下,传感器不能与被测试件有接触,电容式传感器就可以完成这样的测量任务。如回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等,采用非接触测量时,IFM电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
我公司专业代理德国易福门全系列产品:其产品集中于IFM接近开关,IFM接近传感器,IFM光电传感器,控制系统,识别系统,附件,IFM流量传感器,IFM压力传感器和IFM电流传感器,IFM温度传感器,IFM总线系统。仪器网-专业分析仪器服务平台,实验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣传媒体。
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- 2004-09-06 09:23:06
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