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ELS-BODEN 新型电子束光刻系统
- 品牌:日本伊领科思
- 型号: ELS-BODEN
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-07-20 16:48:43
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品日本Elionix (3件)
联系方式:廖敬强0755-81776600
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- 详细介绍
NEW ELS-BODEN Electron Beam Lithography System
新型ELS-BODEN 电子束光刻系统
ELS Series
ELS-BODEN Ó
Fastest in the industry!业内最快!
High speed scanning at 400MHz clock frequency for production高速扫描400MHz频率生产
Key Product Features
关键产品特性Fastest in the industry!
• The industry's fastest 400 MHz high speed scanning
业界最快的400mhz高速扫描
High speed beam scanning, 4 times faster than our previous products.高速光束扫描,比我们以前的产品快4倍。
High current and narrow beam pitch, which was not possible until now.大电流和窄波束间距,这是不可能的,直到现在。
The new system achieves faster and higher quality writing. It is ideal for the MPWS (field-polymerized writing).
新系统实现更快和更高质量的刻写。它是MPWS(现场聚合刻写)的理想选择。
• Faster stage speed阶段的速度更快
Redesigned the stage to meet the demands of production applications and achieved higher speeds.重新设计了工作台,以满足生产应用的要求,并实现了更高的速度。
• Inherits traditional Elionix technology继承了传统的Elionix技术
150kV/125kV if the ultra-fine patterns are most important.150kV/125kV如果超细图案是最重要的。
100 kV for common system and wide variety of applications100kv用于普通系统和广泛的应用
50 kV for high speed writing for the production.50kv用于高速写作,用于生产。
It can meet user's several requirements.能满足用户多方面的要求。
Specification 规格参数:
Emitter发射器
ZrO/W thermal field emitter热场发射体
Acceleration Voltage 加速电压
50kV
100kV
125kV
150kV
Beam Current 电子束电流
1nA to 1µA
20pA to 100nA
5pA to 100nA
5pA to 100nA
Minimum Beam Diameter 最小电子束直径
Φ5nm
Φ1.8nm
Φ1.7nm
Φ1.5nm
Standard Field Size 标准写场直径
1000µm square
1000µm square
500µm square
500µm square
Min. / Max. Field size 最小/最 大写场尺寸
Min. 100µm square
Max. (option) 3000µm squareScan Clock 扫描频率
Max. 400MHz
Minimam Shot Pitch 最小投射距离
0.2nm
Maximum Specimen Size最 大样品尺寸
8" wafer / 12" wafer
Maximum Exposure Area 最 大曝光面积
200mm × 200mm / 300mm × 300mm
Loading System
加载系统
Single cassette auto loader
Multiple cassette auto loader
12" FOUP Robot loader
Robot loader with PEB
Variable wafer size robot loader单盒式自动装载机
多盒式自动装载机
12" FOUP 机器人装载机
带PEB的机器人装载机
可变晶片尺寸的机器人装载机
Software 软件
elms
• Beam conditions
• Exposure schedule
• Pattern data converter
• Account management
• Python scripting•电子束条件
•接触的时间表
•图形数据转换器
•账户管理
•Python脚本
- 产品优势
- ELS-BODEN 新型电子束光刻系统,高速扫描400MHz频率生产
- 日本Elionix 超高精密电子束光刻系统 ELS-F150
- 日本Elionix 电子束曝光电子束直写机ELS-F125
- 英国Nanobean NB5 电子束光刻机
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