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HORIBA 在线椭偏仪 In-situ series
- 品牌:堀场
- 型号: In-situ series
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- HORIBA 科学仪器事业部 更新时间:2024-07-11 15:55:59
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企业性质
入驻年限第3年
营业执照
- 同类产品椭圆偏振光谱仪(6件)
联系方式:科学仪器事业部010-85679966
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
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- 详细介绍
仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
技术参数:
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
- 产品优势
- 在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。