准分子激光器: CL 5000

激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长 (nm)

193

248

308

ZD脉冲能量 (mJ)

20

40

25

ZD重复频频率(Hz)

CL 5100
CL 5200
CL 5300

100
200
300

ZD平均功率 (W)

CL 5100
CL 5200
CL 5300

2
4
5

4
8
10

2.5
5
7

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

8 – 12

冷却方式

CL 5100

风冷

CL 5200/5300

水冷

重量 (kg)

80

尺寸 (LхWхH, mm)

780 х 330 х 583

电源

220 V, 50 Hz, < 1000 VA