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等离子清洗机IoN 100 WB
- 品牌:德国PVA TePla
- 型号: IoN 100 WB
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市科时达电子科技有限公司 更新时间:2024-08-16 07:39:17
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式:林建军0755-29852340
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- 等离子清洗机IoN 100 WB 核心参数
- 详细介绍
IoN 100 WB是我们最新推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源于IoN 100系列,IoN 100 WB延续了同样的品质保障,包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造。
IoN 100 WB旨在满足客户大批量生产的需求,着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、生命科学等领域严格的控制要求。IoN 100 WB结构紧凑,集成度高,采用射频(RF)频率激发等离子体。
IoN 100 WB的另一个独特之处是可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。
规格参数
工作腔室材料 铝(标配)
容积 107 升
内部尺寸 375 x 375 x 762 mm(宽/高/深)
工艺气体
质量流量控制计 最多至6路气体
工艺压力 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 大约1分钟 (取决于真空泵)
射频电源 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源 220V 单相, 50Hz
工艺气体 输入压力 1-2 bar
吹扫气体 输入压力 1-2 bar
压缩空气 输入压力 4-6 bar机体
● 独立的机体带有所有电源和气体接口
● 带有旋转垫脚的可转动机身设备尺寸
标准尺寸 1067 x 737 x 1245 mm(宽/高/深,不含泵)
重量 约239千克(不含泵)
可选项
● 不锈钢腔体● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 液态单体操作装置
● 真空泵(油泵、干泵或罗茨泵组)
● 汽相MFC功能特性:
● 触摸屏操作,图形用户界面(GUI)● 可配置的腔室可使用不同类型电极,适用于大批量处理或特殊的垂直悬挂处理
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 工艺员、操作元、维护员访问权限控制
● 自诊断功能和警报记录功能,联网在线诊断功能
● 以太网远程控制功能
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷
- 产品优势
- IoN 100 WB是我们Z新推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源于IoN 100系列,IoN 100 WB延续了同样的品质保障,包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造。
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