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EVG320 D2W 全自动晶圆系统
- 品牌:奥地利EVG
- 型号: EVG320 D2W
- 产地:奥地利
- 供应商报价: 面议
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深圳市科时达电子科技有限公司
更新时间:2024-08-16 07:39:17
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
EVG320 D2W是一个高度灵活的平台,具有通用硬件/软件接口,能够与第三方取放芯片焊接系统无缝集成。根据集成和生产线平衡要求,它也可以作为独立系统运行。该系统采用了EVG先进的清洁和等离子体活化技术,该技术可用于其行业标准的W2W融合和混合焊接平台,并已在数百个已安装的模块中得到验证。此外,EVG320 D2W具有EVG的对准验证模块(AVM),这是一个集成的计量模块,可以向芯片焊接机提供关键工艺参数的直接反馈,如芯片放置精度和芯片高度信息以及焊接后计量,以改善工艺控制。它还具有灵活的基板处理功能,可以适应任何类型的芯片载体或薄膜框架,支持等离子体活化、混合和融合焊接清洁度标准,以及SECS/GEM标准支持。
特征
多达六个工艺模块
全自动片盒到片盒或FOUP到FOUP处理
通用芯片载体输入,包括胶片帧和定制载体格式
通用硬件/软件接口,可与第三方取放芯片焊接系统无缝集成
用于融合和混合焊接的行业标准清洁和活化模块
计量模块允许主机和连接的取放芯片焊接系统的前馈和反馈回路