二手 Hitachi S-5200冷场发射扫描电子显微镜SEM

日立制作所测量仪器小组（组长&CEO）表示，这次将在半导体，材料，医学，作为生物领域的评估和分析应用，扫描分辨率为0.5 nm（30 kV时加速电压），是超高分辨率的。（*）分辨率：扫描电子显微镜将细电子束照射在半导体晶片等样品上，从样品中取出检测来电子画像。分辨率指的是雕像的精细程度。
             
近年来，随着IT产业的迅猛发展，半导体器件的超小型化、高密度化不断发展，半导体、光电、汽车希望对超精细区域进行更高精度的评估和分析。此外，功能材料和新材料的开发，医学生物学领域也为了促进研究开发，观察超微领域的结构需求在增加。
日立公司一直致力于半导体，材料，医学，生物等领域的世界最高分辨率扫描作为电子显微镜，相继提供了“S-900”、“S-5000”，这次，市场为了满足细化的需求，实现了更高分辨率的“S-5200”的产品化。
“S-5200”是将观察试料插入电子显微镜的物镜中，使高分辨率观察成为可能的方法，利用公司独有的方法，进一步开发强励磁短焦透镜和防止试样在极微区域的污染的办法；通过比以往提高3倍以上的耐振性等，加速电压为30kV时为0.5 nm，加速电压为1kV时为1.8 nm实现了超高的分辨率。同时，该产品也是业内首 个观察样品表面信息的二次电子信息和样品组成信息的的反射电子信息，如高分辨率区域中的成分信息和表面信息的增强，以及用户安装了高分辨率观察功能，可以进行与的目的一致的观察。

这使半导体制造商能够开发超小型化技术和进行微区域故障分析，开发下一代IT设备所需的更高性能半导体器件成为可能。也可以在最前面即使在边缘的研究设施和大学，以前无法清晰观察的超微领域的构造观察也成为可能，