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Hitachi VS1800 纳米尺度3D光学干涉测量系统
- 品牌：日立
- 型号： VS1800
- 产地：日本
- 供应商报价： ¥ 5000000
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上海爱仪通网络科技有限公司
更新时间：2024-07-17 14:29:58 -
企业性质授权代理商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
高分辨率、大范围
采用特别开发的算法，实现垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于无需依赖于物镜的倍率即可实现较高的垂直方向分辨率，即使是大范围（最大测量视野6.4 mm × 6.4 mm）的情况下，也能测量纳米尺度的粗糙度、高差。
Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）
测量数据的重现性高
高度测量使用干涉条纹，将Z驱动产生的影响控制在最小程度，从而实现测量重现性误差低于0.1%（Phase模式下）。
高速测量
通过以平面捕捉样品，不对X、Y方向进行扫描，从而实现高速测量，并且由于采用非接触方式，测量时能够保证不会给样品带来损伤。无损伤测量
对于以往切割样品后形成截面来对多层膜层结构及层内部进行的异物测量，VS1800能够以无损伤方式进行。对于透明层结构样品，利用透镜的高度坐标以及各界面产生的反射光，通过各光学界面出现的干涉条纹输出虚拟截面图像。测量简单
搭载有可直观性使用的操作画面，可以当场确认处理后的图像。可以简单地将处理及分析内容列表、生成原始分析库、重复使用分析库等。还支持数据的批量处理，统一管理多个样品及分析结果，减轻繁杂的后处理程序。
此外，导入表面形貌评估方法的国际标准ISO25178的项目，自动按每个样品选择合适的参数。VS1800搭载有可对参数选择提供建议的工具，有助于提高管理的精度。配置灵活
手动XY样品台为基本型号Type 1，并提样品台电动化逐级提升的Type 2以及Type 3。各型号的升级可通过需求来进行，根据用途轻松引进系统
课题① “对于微细化样品的表面形貌，需要纳米尺度且高分辨率的测量手段”
目前，测量表面形貌所要求的分辨率在不断地提高。纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用了别具一格的光干涉现象测量算法，垂直方向分辨率高达0.01nm。能在纳米尺度并且高分辨率的情况下测量样品表面形貌，远远超过激光扫描显微镜（LSM）的观察范围。
课题②“希望在大范围也可以实现高分辨率测量”
如果要用激光扫描显微镜（LSM）测量大范围的表面形貌，一般使用低倍率的透镜，所以垂直方向分辨率不够。纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800无需依赖于物镜的倍率，即可实现较高的垂直方向分辨率。进行大范围的测量时，也可以测量纳米尺度的粗糙度、高差（最大测量视野6.4 mm × 6.4 mm）。
课题③“希望能快速测量，以应对不断增加的样品”
激光扫描显微镜（LSM）可以对样品X、Y、Z三个方向进行扫描以测量表面形貌。纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800则以垂直方向选取不同平面来捕捉样品信息，因此仅对Z方向进行扫描。仅需几秒钟即可完成测量到分析的整个过程。可以缩短测量时间，高效处理大量的样品。
解决课题的关键
以上对纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800的优点进行了总结。与激光扫描显微镜（LSM）相比，其最大的优点就是可以满足高精度，高速，大范围的样品测试。
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800 激光扫描显微镜（LSM） 测量方式 白光干涉扫描法 激光扫描共聚焦法 垂直方向分辨率 0.01 nm（Sq分辨率）
※使用光干涉条纹测量尺0.5 nm（显示分辨率）
※Z轴依赖马达驱动分辨率为10nm左右高差重现性（Z轴） 1σ0.6 nm
（5倍测量1 μm高差时）1σ12 nm
（50倍测量2 μm高差时）测量速度 从测量到分析最快只需5秒钟
（测量5 μm高度时）
仅扫描一个方向（Z轴）进行测量约20秒钟
（测量5 μm高度时）
扫描三个方向（X、Y、Z）进行测量索取产品目录/咨询
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800的测量实例
材料加工领域的各种观察例多层膜的异物/混入观察例电镀观察例摩擦学性能评估示例
材料加工领域的各种观察例
在材料，加工行业广泛经营的纸质产品及树脂产品，为满足所要求的功能，均作了各种各样的研究。因此，表面形貌及表面粗糙度的测量在质量管理方面起着关键作用。此外，当多层膜等产品出现不良时，需要查明表面、界面或层内哪个部位出现问题，并且很多情况下根据不同样品，还要求进行无损伤测量。
下面介绍材料加工行业中使用纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800进行各种测量的实例。光学薄膜测量实例1 显示器用薄膜显示器用薄膜的表面作了各种加工，以保持防反射、防止指纹造成的污染等功能性。VS1800不仅针对平滑的薄膜表面，对于像亚光膜表面那样凹凸不平的样品，也能以较高的重现性进行测量。
测量实例2 颗粒镀膜颗粒填料用于改善表面的防眩性，以及控制与其他表面粘合的性能，其形状、大小及密度等的测量是必不可少的项目。VS1800不仅可以观察形状，还能利用大小及数量等的分析功能进行评估。
包装膜包装膜通过层压具有阻隔性等功能的材料层，防止内装物劣化。因此，比如了解该材料层的膜厚是否可以表现其功能等，对材料各层的膜厚管理非常重要。VS1800不仅可以评估表面粗糙度，还能以无损伤方式显现层内部的结构，评估各层的厚度及厚度不均匀程度，因此有助于包装膜的质量管理。
测量实例1
测量实例2
高分子材料无论表面是什么材质，VS1800都能以较高的分辨率测量高度，对于如高分子材料之类透明薄膜的高差等也能进行高精度测量。 此外，关于VS1800的界面分析，对于透明材料多层层压时发生的气泡不良等现象，能以无损伤方式进行评估，因此无需制作截面，即可确认哪个层发生了异常。
测量实例1 玻璃基板上高分子膜的高差
测量实例2 胶带粘贴面
纤维材质表面VS1800具有发挥高速、高分辨率功能的“标准测量模式”，以及可测量光反射微弱的斜面之“大倾斜角测量模式”，除了像光面纸之类的平滑表面，还能对名片表面等粗糙的纤维材质表面进行测量，测量范围广泛。
测量实例1 光面纸
测量实例2 名片印刷面
可根据用途，以合理的预算引进本产品
规格
技术指标
机型 Type 1 Type 2 Type 3 Z轴 马达驱动 标配（Z轴移动范围～10㎜） PZT驱动 新增选配（Z轴移动范围～150 μm） XY样品台 驱动方式 手动 电动 移动范围 ± 50 mm ± 75 mm 样品台尺寸 W205 × D150 mm W225 × D225 mm 测角台 驱动方式 手动 电动 移动范围 ± 2° ± 5° 测量相机 标准相机或高像素相机 镜筒 × 1或 × 0.5 变焦透镜 × 0.7透镜（新增选配） 物镜 × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 样品高度 标准 0～50 mm 使用加高配件时 50～100 mm 0～100 mm 电脑OS Windows 10 减震台（带支架） 被动式或主动式 软件一览
标配 新增选配 测量软件 表面形貌测量 大倾斜角测量 分析软件 ISO参数（参照ISO25178）
轮廓分析、频带分解
负荷曲线分析、颗粒分析
热欧姆转换、线段分析界面分析、层面分析
截面面积、线测量- 产品优势
- 纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
