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小型1000℃RTP炉
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: OTF-1200X-4-RTP
- 产地:沈阳
- 供应商报价: 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间:2024-08-16 08:09:43
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 详细介绍
小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(ZD3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP视频 控温仪表操作视频 RTP升温速率演示视频 直接升温曲线 分段升温曲线
1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率,同时可延长其使用寿命。
2、石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易。
3、样品架上放置76mm(3")的AlN基片,承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率,可使样品放置的区域有很好的温度均匀性(±5℃)。
4、内插式热偶保证了温度的准确性。
5、采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。
6、已通过CE认证。所有电器元件(>24V)都通过了UL/MET/CAS认证。若用户自行承担认证费用,本司保证单台设备通过德国TUV认证和CAS认证。
7、可增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE炉(快速热蒸发炉)。产品型号
小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备需配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz(35A空气开关),必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套
接头)
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要
技术参数
1、电源:208V-240V AC,50Hz/60Hz单相,ZD功率9KW(>60A保险)
2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)
3、石英管:外径Ø110mm,内径Ø103mm,长380mm
4、样品架:76mm
5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈Ø10mm,灯长300mm
6、恒温区:102mm×305mm,均匀性±5℃
7、热偶:K型热偶
8、温度:ZG温度1100℃,额定温度1000℃(警告:在1000℃-1100℃下保温时间不超过
600s,否则O型圈将被烧融)
9、控温精度:±1℃
10、最快升温速度:RT-800℃内50℃/s,800℃-1000℃内10℃/s
11、最快降温速度:60℃/min(在200mtorr下),117℃/min(在一个大气压下)
12、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵)
13、真空法兰: 带有KF-D25高真空不锈钢法兰,配有两个高温O型圈密封
14、流量计:16ml/min-160ml/min
15、真空计:数字真空计,测量范围10mtorr-800torr(注意:此表在氮气下校准的,只有在
氮气和空气下表上显示的实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书
中的相对气体对照表,否则后果会严重)
16、水冷:如要求通冷却水,请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI(建议采用
循环水制冷器作为冷却系统)
产品规格
尺寸:760mm×330mm×530mm;重量:45kg
标准配件
1
AIN基片
1片
2
石英样品架
1个
3
石英管
1根
4
石英挡板
4片
5
红外灯管
8根
6
真空法兰
1套
7
KF-D25快接
2套
8
数字真空计
1个
9
高温手套
1双
10
高温硅胶圈
6个
11
聚氨酯水管(外径Ø12mm、内径Ø8mm)
1根
12
水管接头
2个
13
63A保险
2个
14
4A保险
2个
可选配件
1、真空泵
2、波纹管(KF-D25接口)(1m)
3、KF-D25快接
4、防腐型数字式真空显示计(测量范围3.8×10-5torr-1125torr,不需要因测量气体的种类不
同而进行系数转换)
5、RS485串口和控温软件
注意事项
1、炉管内气压不可高于0.02MPa。
2、由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。(建议选购
本司的减压阀,量程为0.01MPa-0.1MPa,更加精确安全)
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,
保持在常压状态。
4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
5、石英管的长时间使用温度<1100℃。
6、对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对
样品加热,则需时刻关注压力表的示数。若气压表示数大于0.02MPa,必须立即打开泄气
阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出等)。
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