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晶棒及晶片角度测量仪
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: DX-7系列
- 产地:沈阳
- 供应商报价: 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间:2024-08-16 08:09:43
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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联系方式:吴女士024-23826163
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- 详细介绍
DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台,可同时进行操作,用于对晶棒及晶片的角度进行测量。
设备构造:设备分为落地式一体机。
外型尺寸:1132(长)×642(宽)×1200(高)mm。
样式1
样式2
样式3
功能
可测量晶棒的端面和柱面,也可以测量晶片。
带有六方型刻度贴片板,可测量晶片端面
可测量晶片参考边
被测晶体尺寸
2-6寸晶棒、长度L≤320mm,2-6寸晶片。
2-6寸晶棒、长度L≤100mm,2-6寸晶片。
2-6寸晶片。
工作台图片
配套夹具
①V型夹具(测量晶棒端面时使用)
②底板(测量有参考面的晶棒端面时使用)
无需夹具
无需夹具
工作台:以上是常见工作台,可根据客户需要,任选以上2种样品台进行组合,也可以双侧一样,还可以根据被测的晶体尺寸,及晶体被测方位来特殊设计。
DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表
型 号
DX-7B
DX-7BG
设备精度
设备综合精度为±30″
(以供方提供的标准石英片10ī1面测量)
设备综合精度为±15″
(以供方提供的标准石英片10ī1面测量)
最小读数
10″
仪器配置
DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分;由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。
技术指标
(1)X射线发生器部分:
X射线管:铜靶,风扇冷却,阳极接地。
ZD管电压:30KVP,全压合闸。
管电流:0—5mA 连续可调,使用2.0mA以上,有可能损坏X光管并加大辐射危害。
(2)输入电源:单相交流220V,50Hz,整机总耗电功率不大于0.3 KW 。
(3)角度测量范围:
2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。
衍射方式
单衍射
双衍射
放大系统
传统放大器
新型放大器
接收系统
计数管计数率为104/秒
计数管计数率为108/秒
(是普通系列的1万倍)
接收器寿命
1年
3年以上
X光管寿命
按照国家标准400小时
(X光管可以使用3-4个月)
是正常使用状况下的2-3倍
(X光管至少可以使用一年)
X管电流强度
1-1.5mA
0.5-1.0mA
测量和使用效果
X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰,影响准确度。需要经常更换X光管,影响生产效率。
可以滤掉X光管的杂峰,不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右,不需要频繁调整机器。
精度
精度±30秒(或±0.008度)
精度±15秒(或±0.004度)
辐射
测量时使用 mA量越来越大,射线辐射量较大。
测量时使用 mA量小,射线辐射量较小。