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SemiChem 在线浓度监测仪
- 品牌：日本HM&M
- 型号： SemiChem 在线浓度监测仪
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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上海奥法美嘉生物科技有限公司
更新时间：2024-06-24 09:11:09 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
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联系方式：销售部400-829-3090
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- 详细介绍
SemiChem 在线浓度监测仪
Entegris在设计和生产用于半导体制造工艺中 的化学机械平坦化（CMP）浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器的有丰富的经验。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性，并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。
我们的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在线浓度监测仪）是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分，从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时，可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化，有助于满足更高产品产量的要求。
应用领域
我们安装了近3000套SemiChem APM系统，用于控制金属 CMP 浓度。它是控制CMP过氧化物的可靠的中心工具，并被证明在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有较好的性能，包括：
·铜，钨，阻挡层和金属CMP
·制定清洁
·DSP+
·湿法蚀刻，氮化物蚀刻
·平底蚀刻，食人鱼蚀刻
·高频
·废水
功能与特点
经验证的标准电化学技术 提供行业精确的监控，以保证过程化学成分和完整性 提供化学浓度数据，使浆料/化学分配系统能够提供准确的化学浓度 在线的，接近实时检测的系统 检测挥发性化学物质的工艺偏差，防止产品质量损坏 将实验室技术过渡到在线，实现快速准确的在线控制 坚固耐用的工业设计 维持至少8500小时平均工作时间 可经受严峻的工业环境 规格分析方法 电位测定法，标准加成法，光度测定法 电位测量的准确性* 显示值的±0.2% 标准添加的准确性* 显示值的±2.0% 电位测量精度* ±0.2%相对误差 标准添加精度* ±2.0%相对误差 测量时间 >5分钟/次（取决于应用程序） 校准间隔 启动时** 样品消耗 <5 mL/次 进样量 0.05-5 mL（取决于应用） 进样温度 ≤93°C（200°F） 耗水量 <1000 mL/分析 样品进样/排样 <207 kPa（30 psi），0.5 L/min 1/4" OD扩口接头，1" FPT安全壳联轴器 去离子水 138至276 kPa（20至40 psi） 2.0升/分钟 外径 1/4" 扩口接头 CDA 414-552 kPa（60-80 psi） 1/4" 外径快速接头 排水 工艺：3/4“NPT重力排水管 机柜：1/2“NPT重力 电源 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A现场可切换 废气 外径1 7/8" @ 17 CFM 标准功能 可选功能 ·四个4-20 mA模拟输出
·八个可编程继电器
·以太网和RS232串行
·彩色触摸屏
·单个测量单元
·综合试剂储存
·单个采样点
·一个5 mL数字滴定管
·多传感器输入
·多个采样点
·额外的5 mL数字滴定管
·附加传感器
·安全联锁装置
·试剂微量检测
尺寸
- 产品优势
- 提供行业精确的监控，以保证过程化学成分和完整性
提供化学浓度数据，使浆料/化学分配系统能够提供准确的化学浓度
检测挥发性化学物质的工艺偏差，防止产品质量损坏
将实验室技术过渡到在线，实现快速准确的在线控制
维持至少8500小时平均工作时间
可经受严峻的工业环境
