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实验室半导体晶圆探针台

品牌：郑州科探
型号： KT-Z4019MRL4T
产地：郑州
供应商报价：面议

郑州科探仪器设备有限公司更新时间：2024-01-12 16:51:38

企业性质生产商

入驻年限第2年

营业执照已审核

同类产品真空探针台(11件)

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详细介绍

迷你小型探针台 ，

高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。

为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。

度

迷你小型探针台

真空腔体
类型	高温型室温到350℃	高低温型室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质	304不锈钢 6061铝合金可选
腔体内尺寸	127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔体重量	不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	6mm快拧或 6mm快插
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	不锈钢银铜合金纯银块	银铜合金纯银块
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热	电阻加热液氮制冷
样品台-视窗距离	11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器	PT100型热电阻
样品台温度	室温到400℃	室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差	±0.5℃
样品台升温速率	高温100℃/min 低温7℃/min
温控仪
温度显示	7寸人机界面
温控类型	标准PID温控 +自整定
温度分辨率	0.1℃
温控精度	±0.5℃
温度信号输入类型	PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出	直流线性电源加热	直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能	温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口
温控器尺寸	32cmX170cmX380cm
温控器重量	约5.6KG
探针
电信号接头	配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头香蕉插头线长1.2米
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量	4探针（可扩展5探针）
探针材质	镀金钨针（其他材质可选）
探针尖	10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程	20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度	≥500μm
R轴移动行程	120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度	≥500μm
Z轴移动行程	2mm ±1mm
Z轴控制精度	≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）