型号

IM-7030T

类型

测量头
搭载可变照明及光照探针单元，接触式高度测量单元，采用宽型座标台

拍摄元件

1 型 660 万像素 黑白 CMOS

显示器

10.4 型 LCD 显示器 (XGA：1024 × 768)

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式：300×200 mm (4 角 R50)
高精度测量模式：225 × 125 mm

最小显示单位

0.1 µm

重复精度

座标台未移动

广视野测量模式：±1 µm
高精度测量模式：±0.5 µm

座标台移动

广视野测量模式：±2 µm
高精度测量模式：±1.5 µm

测量精度 ±2σ

无连接

广视野测量模式：±5 µm^*1
高精度测量模式：±2 µm^*2

有连接

广视野测量模式：±(7+0.02 L) µm^*3
高精度测量模式：±(4+0.02 L) µm^*4

动态光探头测量

可测量范围(XY)

190 × 90 mm

ZD测量深度

30 mm

动态光探头直径

ø3 mm

测量力

0.015 N

重复精度

±2 µm^*5

测量精度

±(8+0.02 L) µm^*6

高度测量

测量范围

0 至 75 mm

测量力

0.3 N

测量位置精度(XY)

±0.2 mm^*7

最小显示单位

1 µm

可测量范围(XY)

广视野测量模式：145 × 95 mm
高精度测量模式：107.5 × 95 mm

重复精度

±2 µm^*8

测量精度

±7.5 µm^*9

接口

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB3.1

4 组（背面：4 组）

USB2.0 系列A

2 组（正面：2 组）

外部遥控输入

无源触点输入 (有接点/无接点)

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 输出
额定负载 24 VDC 0.5 A
ON 电阻 50 mΩ 以下

存储

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

4 分割多角度照明 (电动)
环状 (指向性)照明 (电动)

XY 座标台

移动范围

200×100 mm (电动)

承受负重

7.5 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm (电动)

电源

电源电压

100 至 240 VAC 50/60 Hz

消耗电流

430 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+10 至 35℃

相对湿度

20 至 80% RH (无凝结)

重量

约 35 kg

^*1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23 ±1℃的情况下
^*2 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23 ±1℃的情况下
^*3 在 280 × 180 mm( 4 角 R40) 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23 ±1℃、座标台载重 3 kg 以下时，L 为座标台移动量( mm)
^*4 在 220 × 120 mm 范围内，于调焦点位置、环境温度 +23 ±1℃、座标台载重 3 kg 以下时，L 为座标台移动量( mm)
^*5 采用标准检测方法或采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm
^*6 采用标准检测方法、环境温度 +23℃ ±1℃、座标台载重 3 kg 以下时，采用适用于较深位置的检测方法时为 ±(10+0.02 L) µm，L 为测量长度 (mm)
^*7 环境温度为 +23 ±1℃的情况下
^*8 测量ZD高度设为 30 mm 以下时。测量ZD高度设定在 30 mm 至 75 mm 的范围内时为 ±3 µm
^*9 测量ZD高度设为 30 mm 以下时。测量ZD高度设定在 30 mm 至 75 mm 的范围内时为 ±9.5 µm