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二手 FEI Quanta 250 FEG系列扫描电子显微镜 SEM
- 品牌:美国FEI
- 型号: Quanta 250 FEG
- 产地:美国
- 供应商报价: ¥ 1500000 (市场参考价:¥ 3000000)
- 上海爱仪通网络科技有限公司 更新时间:2024-08-16 09:26:48
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- 详细介绍
QuantaTM 250 FEG
真正的高分辨、多用途扫描电镜
研究各种各样的材料,并进行结构和成份表征,是目前对扫描电镜 的主流应用要求。FEI QuantaTM FEG系列灵活、通用,足以应对当今人 们广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品,得到所有数据”, 在Quanta FEG上可得到表面像和成份像,并可辅以多种附件来确定材 料的性质和元素组成。
当今人们利用扫描电镜研究的材料早已超出单纯的金属和经导电处 理过的样品。Quanta 50 FEG系列对任何样品都可得到高质量的图像 和分析结果。无论是对现今的或是将来的应用领域,FEI的Quanta 50 FEG系列都是一个高端的、灵活的解决方案。其特点是,具有高真 空、低真空和ESEM环境真空三种真空模式,适合分析最广泛的样品 范围,从传统的金属材料、断口和抛光断面,到不导电的软物质。
Quanta 50 FEG系列是基于前两代成功的肖特基场发射环境扫描技术 开发的第三代Quanta系列产品。这一系列产品用户界面使用起来十 分方便、灵活,有多种功能最大程度地发挥其使用效率,并且允 许采集所有需要的数据。它是电镜专家设计来给电镜专家使用的 仪器,性能远不止“简便易用”。这些功能有:特有的图像导航 功能包括蒙太奇图像导航、鼠标双击样品台移动、鼠标拖曳放大居 中功能以及其它标准的特色技术;SmartSCANTM,一种智能扫描技 术,能降低信号噪音,提供更好的数据;电子束减速模式,一个新 的选项,将钨灯丝扫描电镜的低加速电压性能提高到一个全新的水 平;Nav-CamTM彩色图像导航器及新开发的探测器也大大增加了其灵 活性。
更多数据、更多灵活性、更高效率,用途广泛的Quanta FEG系列您现 在唾手可得。
主要优点
世界上具有环境扫描技术的高分辨场发 射扫描电镜
在各种操作模式下分析导电和不导电样品, 得到二次电子像和背散射电子像
最大程度降低样品制备要求:低真空/环境真 空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导 电处理即可直接成像和分析,样品表面无电 荷累积现象
“穿过透镜”的压差真空系统,对导 电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析,不 管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的 大束流(最大 200 nA)确保能谱及EBSD分析工 作的快速、准确
电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原 位样品台后,在从- 165 °C到1500 °C温度范围 内,对多种样品保持其原始状态下进行动态 原位分析
对导电样品,可选用减速模式得到表面和成 份信息
直观、简便易用的软件,即使电镜新手也能 轻易上手
典型应用:
检测器
• E-T二次电子探头纳米表征
金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料
陶瓷, 复合材料, 塑料
薄膜/涂层地质样品断面, 矿物
软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材
颗粒, 多孔材料, 纤维
原位过程分析
增湿/去湿
浸润行为/接触角分析
氧化/腐蚀
拉伸 (伴随加热或冷却)
结晶/相变
纳米原型制备
• 电子束曝光 (EBL)
• 电子束诱导沉积(EBID)主要参数
电子光学
高分辨肖特基场发射电子枪
优化的高亮度、大束流镜筒
45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式 物镜光阑
加速电压: 200 V - 30 kV
束流: 最大200 nA并连续可调
放大倍数: 14 x – 1,000,000 x (四幅图像显示)
分辨率
高真空
– 30 kV下0.8 nm (STEM)*
– 30 kV下1.0 nm (SE)
– 30 kV下2.5 nm (BSE)*
– 1 kV下3.0 nm (SE)
高真空下减速模式*
– 1 kV下3.0 nm (BSE)*
– 1 kV下2.3 nm (ICD)*
– 200 V下3.1 nm (ICD)*
低真空
– 30 kV下1.4 nm (SE)
– 30 kV下 2.5 nm (BSE)
– 3 kV下3.0 nm (SE)
环境真空 (ESEM)
– 30 kV下1.4 nm (SE)
检测器
• E-T二次电子探头
•大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)
• 气体二次电子探头 (GSED)
• 样品室红外CCD相机
• 高灵敏度、低电压固体背散射探头*• 气体背散射探头*
• 四分固体背散射探头*
• 闪烁体型背散射探头/CLD*
• vCD(低电压、高衬度探头)*
• 镜筒内探头(ICD),用于减速模式下二次电子检测*
• 电子束流检测器*
• 分析型气体背散射探头 (GAD)*
• STEM探头*
• Nav-CamTM– 光学相机彩色成像,用于样品导航*
• 阴极荧光探测器*
• 能谱*
• 波谱*
• EBSD*
• 极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)*
真空系统
• 1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵
• “穿过透镜”的压差真空系统
• 电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm
• 可升级成无油机械泵
• 2个离子泵
• 样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
• 样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa
• 样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa
• 典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式 ≤ 270秒 (FEI标准测试程序)
样品室
• 左右内径284 mm
• 10 mm分析工作距离
• 8个探测器 / 附件接口 • EDS采集角: 35°样品台
• X/Y = 50 mm
• Z = 50 mm (其中马达驱动25 mm) • 手动倾斜:- 15° to + 75°
• 连续旋转360°
• 重复精度: 2 μm (X/Y方向)
• 全对中样品台样品座
• 多样品座
• 单样品座
• 通用样品座套件*
• 适用于硅片或其它特殊要求的样品座*图像处理器
最大6144 x 4096像素
图像文件格式:TIFF(8,16 or 24 bit), BMP or JPEG
单窗口或四窗口图像显示
四活动窗口
实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
256 帧平均或积分
数字动画记录 (.avi格式)
直方图及图像测量软件
DCFI (漂移补偿积分)
支持软件
SmartSCANTM 智能扫描技术
蒙太奇图像导航
软件温度控制
FEI动画生成工具
系统选项
减速模式
多功能控制板
支持计算机 (包括第二个24寸液晶显示器)
软件控制的Peltier冷台
软件控制的WetTSTEMTM
软件控制的1000 °C热台
软件控制的1500 °C热台
游戏操纵杆
样品电流探测
远程控制
视频打印机
样品座套件
机械泵隔音罩
7针或52针电气接口
静电电子束束闸
波谱仪接口
更换成无油机械泵套件
通用第三方附件
• 能谱仪
• 波谱仪
• EBSD• 冷台
• 阴极荧光谱仪
• 样品电流探测器 • 纳米机械手
• 电子束曝光系统 • CAD导航
• 电子探针台软件选项
• 远程控制/观察软件
• 图像分析软件
• 基于Web的数据库软件
• 高度分布/粗糙度测量软件支持文档
• 在线帮助
• 入门培训CD
• RAPIDTM (远程诊断软件)
• 免费连接到FEI用户群在线资源库 • 免费加入FEI环境扫描用户俱乐部安装要求
• (更多的数据请参考“预安装手册”)
• 电源: 电压 230 V (+ 6 %, - 10 %), 频率 50 or 60 Hz (+/- 1 %)
• 耗电量: 电镜基本系统< 3.0 kVA
• 接地: < 0.1 Ω(欧洲标准)
• 场地环境: 工作温度 20 °C +/- 3 °C; 相对湿度 < 80 % (无冷凝);残余交流磁场 < 40 nT(非同步频率,水平X/Y方向),
< 300 nT (同步频率,水平X/Y方向)• 门宽: 90 cm
• 重量: 主机重量约530 kg;电气柜约139 kg
• 干燥氮气(推荐使用): 0.7 - 0.8 bar, 放气时最大流速10 l/min
• 干燥无油压缩空气4 – 6 bar
• 可以不选配冷却水机,如果满足场地条件要求(详见预安装手册)
• 噪音: < 68 dBC (需场地测试确定) • 振动 (需场地测试确定)
• 减振台可选节能措施
• Energy Star认证的显示器和工作站 • 系统设计为无冷却水也可工作
- 技术资料
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