TC Wafer热电偶晶圆测温系统 晶圆硅片测温热电偶 光刻机晶圆温度测量系统

TC Wafer热电偶晶圆测温系统 晶圆硅片测温热电偶 光刻机晶圆温度测量系统

引言

半导体行业的高速发展使得晶圆制造过程的温度控制变得至关重要。温度变化可能会对晶圆的性能、质量和产量产生直接影响。为了实现更精确的温度监测和控制，TC Wafer热电偶晶圆测温系统应运而生。

TC为热电偶的简称， TC Wafer是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布。

产品介绍

TC Wafer热电偶晶圆测温系统是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。

产品优势

高精度：由于其直接嵌入在晶圆表面，可以实现对晶圆温度的实时、精确监测。

可靠性：传感器材料稳定，适应长期运行，不易受到外界干扰。

高灵敏度：微小的温度变化也能被传感器准确地捕捉，确保制程的稳定性。

即时性：传感器的实时性能使得生产线上的温度调整能够迅速响应，减少生产过程中的温度波动。

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