PR-23-MS 半导体工业折射仪

折光仪PR-23-MS 可提供连续的 4-20 mA 或数字测量信号，并在化学品的浓度不符合规格要求时向控制系统实时反馈。PR-23-MS 外形小巧，易于安装，适用于散装化学品配送、使用点化学品调配、补液监测应用。

• Ø 优化蚀刻工艺并延长蚀刻液（例如加热的 KOH）的使用时间。

• Ø 对 CMP 浆料进行严格控制，并提高抛光的均匀性。

• Ø 光学核心构造光学器件。

• Ø 过程温度范围：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)

• Ø ATEX 防爆认证，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。

• Ø CSA 防爆认证，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.

• 主要优点：

维萨拉 K‑PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于监控工艺流程，可提供连续的以太网输出信号。设计紧凑，直接串接在过程管路上。

折射率测量范围为 nD 1.3200–1.5300，相当于 0-100%（重量百分比）。对于高浓度 HF，可选范围为 nD 1.2600–1.4700。标称准确度为 R.I.+ 0.0002，通常相当于 0.1%（重量百分比），例如：盐酸、易于维护：光学核心设计；无漂移；无需重新校准；无需进行机械调节。