PR-33-S 半导体折射仪

PR-33-S半导体行业用折光仪 适用于半导体液态化学品测量。该折光仪外形紧凑，流通池采用改良超纯 PTFE 制成，适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于晶圆洁净室里的化学品浓度监测，通常被安装在混合、清洗、蚀刻和 (CMP) 等机台上。PR-33-S 直接通过喇叭形或pillar配件进行安装。PR-33-S 结构紧凑，不含金属，体积小。

• N.I.S.T. 标准下的可追溯校准及验证，采用标准折射率液体和验证程序进行验证

• 光学核心设计

• 通过以太网进行数据记录和远程界面操作

• 标准 UDP/IP 通信

• 过程温度范围：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)

• 内置 Pt1000 快速温度测量及自动温度补偿