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美国OAI MODEL358紫外线照度计

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详细介绍


美国OAI MODEL358紫外线照度计用于ASML、佳能、尼康和超技术高强度晶圆步进器。基于微处理器的358型
外线强度和能量计可测量、存储和调用9个系列的读数。可读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间(4000 mW/cm², 999.9 mJ/cm²)。

产品特点:
  • 数字显示提供可追溯至NIST的清晰测量

  • 测量强度、时间和能量

  • 记录一系列曝光的偏差百分比

  • 探头波长显示有助于防止设置错误

  • 简单的按钮操作提供可靠的结果

  • 与许多光刻胶的光谱响应相匹配的可拆卸探针

  • 显示读数可以锁定

  • 前面板提醒提示用户

  • 坚固的铝外壳,带有手柄和探头袋,便于携带

 
应用
  • 358型非常适合各种需要精确测量紫外线能量的行业,适用于任何需要重复、可靠紫外线测量的应用。

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产品参数:

  • 强度范围  :  (mw/cm2)  40-4000

  • 能量范围   : (mJ/cm2)   0-9999

  • 时间范围  : (seconds)  0-9999

  • 波长选择  : (nm)    365, 400,420, 436

  • 精度 : ±  3.0 (WB)  ± 1.5 (NB)

  • 线性 :(%)  2 

  • 用途 :高强度步进机 

  • 计算 :平均能量; 能量偏差百分比,可达9个通道的强度和时间

  • 输出输入 :打印,通道选择,选择探头,波长检查

  • 电力 :110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充电 6v电池 (自动关闭) 

  • 尺寸 :12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm

  • 重量 :约3.6 kg

  • 更有357型号可选,区别在于波段选择和步进器选择上的不同。


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