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Olympus LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜
- 品牌:日本奥林巴斯
- 型号: OLS5000
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
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杭州雷迈科技有限公司
更新时间:2023-12-29 16:25:07
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- 详细介绍
- Olympus LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取 3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。[405纳米激光光源]
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得***的横向分辨率。
[激光共焦光学系统]
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像。
[X-Y扫描仪]
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的***X-Y扫描。
[高度测量原理]
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。 - 产品优势
- 通过奥林巴斯LEXT激光扫描显微镜,利用接近10nm高精度分辨率的非接触式3D功能,可轻松观察和测量样品表面特征